[实用新型]刀具承载台及刀具加工装置有效
申请号: | 201821117682.4 | 申请日: | 2018-07-13 |
公开(公告)号: | CN208667846U | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 唐永炳;陈波;杨扬;王陶 | 申请(专利权)人: | 深圳先进技术研究院 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/46;C23C16/27 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 逯恒 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 承载台 刀具 刀具加工装置 本实用新型 刀具固定孔 金刚石薄膜涂层 金刚石涂层刀具 炉内温度场分布 倒圆台结构 炉内温度场 刀具加工 刀具涂层 生产效率 主体边缘 主体设计 不均匀 倒棱台 良品率 上薄膜 温度差 温度场 散热 沉积 承载 生长 | ||
本实用新型提供了一种刀具承载台及刀具加工装置,涉及刀具加工技术领域。该刀具承载台包括承载台主体,根据炉内温度场的分布将承载台主体设计为倒棱台结构或倒圆台结构,并在承载台主体上开设有若干个刀具固定孔,刀具通过刀具固定孔固定在承载台主体上,上述设计使得承载台主体边缘散热慢于中心,缩小边缘与中心的温度差,从而调节承载台上的温度场,使其更均匀,进而增大承载台主体上适宜金刚石薄膜涂层生长的区域,提高刀具涂层的质量和生产效率,改善了现有技术中炉内温度场分布不均匀,导致刀具上薄膜涂层的沉积质量不佳,甚至降低金刚石涂层刀具的良品率的技术问题。本实用新型还提供了一种刀具加工装置,包括上述刀具承载台。
技术领域
本实用新型涉及刀具加工技术领域,尤其是涉及一种刀具承载台及刀具加工装置。
背景技术
化学气相沉积金刚石薄膜涂层刀具具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等优异的机械及摩擦学性能,使其在硬质合金刀具领域具有广阔的应用前景。
热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜涂层刀具的工艺中,由于炉内温度场分布不均匀,即热丝中心的正下方温度较高,热丝的边缘温度较低,中心与边缘的温度差使得同一炉产品的质量不均匀,甚至引起的温度波动超出金刚石的沉积温度,造成局部区域的基体无法沉积上金刚石,从而导致金刚石涂层刀具的良品率较低。故在沉积过程中需要合理的固定安放刀具,才能保证薄膜涂层的沉积质量。
现有装置多采用柱状或立方体承载台,即在基板上打上孔然后将刀具插入其中,实现刀具的固定,没有考虑到炉内温度场分布不均匀的实际情况。
有鉴于此,特提出本实用新型。
实用新型内容
本实用新型的第一目的在于提供一种刀具承载台,通过特定的结构设计,来调节承载台上的温度场,使温度分布更均匀、恒定,从而增大承载台上适宜金刚石薄膜生长的区域,从而提高刀具涂层的质量和生产效率。
本实用新型的第二目的在于提供一种刀具加工装置。
为解决上述技术问题,本实用新型特采用如下技术方案:
本实用新型提供的一种刀具承载台,包括承载台主体;
所述承载台主体为倒棱台结构或倒圆台结构,所述承载台主体上开设有若干个刀具固定孔,刀具通过所述刀具固定孔固定在所述承载台主体上。
进一步的,在本实用新型技术方案的基础之上,所述承载台主体的顶面面积大于底面面积。
进一步的,在本实用新型技术方案的基础之上,所述承载台主体上的每个侧面的倾斜角度不小于45度。
进一步的,在本实用新型技术方案的基础之上,所述承载台主体为倒四棱台结构,所述承载台主体上的每个侧面的倾斜角度为45度。
进一步的,在本实用新型技术方案的基础之上,还包括散热件;
所述散热件位于所述承载台主体的顶面上,所述散热件上相应开设有若干个与所述刀具固定孔大小相同的通孔。
进一步的,在本实用新型技术方案的基础之上,所述散热件与所述承载台主体可拆卸连接。
进一步的,在本实用新型技术方案的基础之上,所述散热件的尺寸与所述承载台主体的顶面的尺寸相等。
进一步的,在本实用新型技术方案的基础之上,所述散热件为片状结构。
进一步的,在本实用新型技术方案的基础之上,所述散热件为铜散热件或石墨散热件。
本实用新型还提供了一种刀具加工装置,包括上述刀具承载台。
与现有技术相比,本实用新型提供的刀具承载台及刀具加工装置具有如下有益效果:
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的