[实用新型]一种用于晶体生长设备下轴机构的密封装置

说明书

一种晶体生长设备下轴机构的密封装置，所述晶体生长设备包括炉体和设置在炉体下方的下轴，所述密封装置套设在所述下轴外，密封装置包括：用于套设在下轴外的波纹管；用于将所述波纹管的一端密封固定在所述炉体上的上法兰；和用于将波纹管的另一端密封固定在所述下轴底部的下法兰。本实用新型提供一种晶体生长设备下轴机构的密封装置，通过将波纹管套设在下轴外侧，当下轴上升时，不锈钢波纹管会由于压缩而变短；当下轴向下移动时，波纹管会由于拉伸而变长。由于下轴与密封装置之间没有机械摩擦，即使挥发物掉落到下轴上也不会与密封圈摩擦造成漏气，又由于不锈钢波纹管的可靠性和使用寿命长等特点，使得下轴机构的可靠性和稳定性得以大大提高。

技术领域

本实用新型涉及一种晶体生长设备下轴机构的密封装置。属于光学材料领域。

背景技术

由于晶体生长的周期比较长，且晶体生长设备的炉体内的温度可达到1900℃左右。由于晶体生长要求条件比较严格，所以对设备的真空度、耐高温性、可靠性和耐用性等指标的要求都比较高。目前，晶体生长设备的下轴封闭使用的是油封结构封闭。如图1所示，现有技术中的晶体生长设备通常包括：用于晶体1生长的炉体2，设置在炉体下部的下轴3，设置在炉体2下方，套设在下轴3外的不锈钢支架5，不锈钢支架5内装油封4，作为密封下轴3。在生产过程中，经常有挥发物6脱落掉入油封4中，由于下轴3在晶体1生长过程中需要频繁的移动，掉落在油封4中的挥发物会造成下轴3和油封4之间产生摩擦，造成磨损，引起漏气，缩短油封4的寿命，通常为5个月左右。

所以，为了保持设备的真空度，就需要经常更换或者清理油封。由于设备空间比较狭窄，所以油封的清理比较费时费力。一旦下轴的油封损坏，不但会延误晶体生长和影响经济效益，而且由于真空度的影响，晶体的质量也会大打折扣。

对于现有技术中，使用油封对晶体生长设备的下轴进行封闭所存在的问题，需要研制一种新型的使用期限长、更换方便的密封装置来代替现有的油封装置。

实用新型内容

为了解决上述现有技术中晶体生长设备下轴机构的密封装置所存在的问题，本实用新型提供一种晶体生长设备下轴机构的密封装置，通过使用波纹管对晶体生长设备下轴机构进行密封。通过使用本实用新型公开的晶体生长设备下轴机构的密封装置使下轴机构的密封可靠性得以提高，减少了设备的维修和维护时间和成本，大大提高了晶体生产效率和成品率。

为了解决上述问题，本实用新型所提供的技术方案为：

一种晶体生长设备下轴机构的密封装置，所述晶体生长设备包括炉体和设置在炉体下方的下轴，所述密封装置套设在所述下轴外，包括：

用于套设在下轴外的波纹管；

用于将所述波纹管的一端密封固定在所述炉体上的上法兰；和

用于将波纹管的另一端密封固定在所述下轴底部的下法兰。

进一步，所述上法兰与炉体之间设置有密封圈。

进一步，所述下法兰与所述下轴底部之间设置有密封圈。

进一步，所述波纹管为不锈钢波纹管。

本实用新型提供一种晶体生长设备下轴机构的密封装置，通过将波纹管套设在下轴外侧，当下轴上升时，不锈钢波纹管会由于压缩而变短；当下轴向下移动时，波纹管会由于拉伸而变长。由于下轴与密封圈之间没有机械摩擦，即使挥发物掉落到下轴上也不会与密封圈摩擦造成漏气，又由于不锈钢波纹管的可靠性和长寿命等特点，使得下轴机构的可靠性和稳定性得以提高。

附图说明

图1为现有技术中晶体生长设备结构示意图。

图2为本实用新型晶体生长设备下轴机构的密封装置结构示意图(波纹管拉长状态)。

图3为本实用新型晶体生长设备下轴机构的密封装置结构示意图(波纹管压缩状态)。