[实用新型]真空溅镀用新型防着板

权利要求书

1.一种真空溅镀用新型防着板，其特征在于：包括防着板本体(1)，所述防着板本体包括基板(11)和覆盖板(12)，所述基板与所述覆盖板可拆卸连接；

所述基板的靠近覆盖板一侧的第一表面设有若干等间隔排布的且为条状的凹槽(111)，所述凹槽的宽度为40-60mm,所述凹槽的底面为弧面(112)，相邻所述凹槽之间设有背脊(113)，所述背脊的上端向上延伸形成截面为倒梯形状的卡边(1131)；将凹槽的长度方向定义为横向且宽度方向定义为纵向，所述凹槽内设有至少一条横向排布的冷却流道(114)，所述冷却流道的顶面为弧面，所述冷却流道的宽度为10-20mm且高度为5-15mm，所述冷却流道沿其长度方向等间隔设有若干散热盘(115)，所述散热盘的截面为圆形且直径皆为20-30mm，高度皆为5-15mm；

所述覆盖板为冲压形成若干相连凹条(121)的金属片，所述凹条与所述基板的凹槽的形状相适应，相邻所述凹条之间形成能够容纳背脊的容纳槽(122)，所述基板的背脊卡于所述容纳槽实现基板与所述覆盖板之间的可拆卸连接；所述凹条内设有若干纵向等间隔分布的条形凸起(123)，所述条形凸起的两端分别与所述凹条的宽度方向的两侧连接，所述条形凸起的高度为20-30mm且宽度为10-20mm,相邻所述条形凸起之间的中心距离为50-100mm。

2.根据权利要求1所述的真空溅镀用新型防着板，其特征在于：所述卡边的高度为背脊的高度的1/4-1/3。

3.根据权利要求1所述的真空溅镀用新型防着板，其特征在于：每一所述凹槽内设有1-3条冷却流道，所有所述冷却流道均匀排布。

4.根据权利要求1所述的真空溅镀用新型防着板，其特征在于：所述凹槽的宽度为50mm。

5.根据权利要求1所述的真空溅镀用新型防着板，其特征在于：所述冷却流道的宽度为15mm且高度为10mm。

6.根据权利要求1所述的真空溅镀用新型防着板，其特征在于：所述散热盘的直径为25mm且高度皆为10mm。

7.根据权利要求1所述的真空溅镀用新型防着板，其特征在于：所述条形凸起的高度为25mm且宽度为15mm。

8.根据权利要求1所述的真空溅镀用新型防着板，其特征在于：相邻所述条形凸起之间的中心距离为80mm。

9.根据权利要求1所述的真空溅镀用新型防着板，其特征在于：所述条形凸起的顶面为弧面。

10.根据权利要求1所述的真空溅镀用新型防着板，其特征在于：所述凹条的宽度小于所述凹槽的宽度；所述容纳槽的宽度大于所述背脊的宽度。