[实用新型]曝光设备及线路板的夹持装置有效
申请号: | 201821108959.7 | 申请日: | 2018-07-12 |
公开(公告)号: | CN208477289U | 公开(公告)日: | 2019-02-05 |
发明(设计)人: | 汪孝军;廖平强;张胜 | 申请(专利权)人: | 中山新诺科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 曾旻辉 |
地址: | 528437 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 线路板 夹持件 夹持装置 曝光设备 侧边 夹持 本实用新型 间隔设置 运动平台 曝光 夹持部 异物 固设 刮伤 配合 污染 保证 生产 | ||
1.一种线路板的夹持装置,其特征在于,包括:
第一夹持件,所述第一夹持件固设于运动平台上,所述第一夹持件用于对线路板的第一侧边进行夹持;及
第二夹持件,所述第二夹持件用于对线路板上与所述第一侧边相对的第二侧边进行夹持,所述第一夹持件与所述第二夹持件相对间隔设置并配合形成用于夹持所述线路板的夹持部。
2.根据权利要求1所述的夹持装置,其特征在于,还包括第一驱动机构,所述第一驱动机构与所述第二夹持件传动连接、用于施加朝向远离所述第一夹持件方向的力至所述第二夹持件上。
3.根据权利要求2所述的夹持装置,其特征在于,所述第二夹持件至少为两个,至少两个所述第二夹持件相对间隔设置、并与所述第一夹持件配合形成所述夹持部,且每个所述第二夹持件相应设有一个所述第一驱动机构。
4.根据权利要求2所述的夹持装置,其特征在于,所述第二夹持件设置为三个,所述第一夹持件用于对所述线路板的一个直角边进行夹持,三个所述第二夹持件分别对所述线路板的三个直角边进行夹持,且第一个所述第一驱动机构用于施加沿第一方向远离所述第一夹持件的力至第一个所述第二夹持件上,第二个所述第一驱动机构用于施加沿第二方向远离所述第一夹持件的力至第二个所述第二夹持件上,第三个所述第一驱动机构用于施加沿第三方向远离所述第一夹持件的力至第三个所述第二夹持件上,其中,所述第一方向及所述第二方向均与所述第三方向呈夹角设置。
5.根据权利要求2所述的夹持装置,其特征在于,还包括控制器,所述控制器与所述第一驱动机构电性连接。
6.根据权利要求1至5任一项所述的夹持装置,其特征在于,所述第一夹持件上设有第一夹槽,所述第二夹持件上相应设有第二夹槽,所述第一夹槽的内壁与所述第二夹槽的内壁配合形成所述夹持部。
7.根据权利要求6所述的夹持装置,其特征在于,还包括第一防滑结构和第二防滑结构,所述第一防滑结构设置于所述第一夹槽内,所述第二防滑结构设置于所述第二夹槽内。
8.根据权利要求6所述的夹持装置,其特征在于,所述第一夹槽的开口端还设有第一导向部,所述第二夹槽的开口端还设有第二导向部。
9.根据权利要求6所述的夹持装置,其特征在于,还包括第一缓冲结构和第二缓冲结构,所述第一缓冲结构设置于所述第一夹槽内,所述第二缓冲结构设置于所述第二夹槽内。
10.一种曝光设备,其特征在于,包括:如权利要求1至9任一项所述的线路板的夹持装置及用于带动所述第一夹持件沿曝光方向移动的运动平台。
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