[实用新型]曝光机及线路板的输送装置有效
申请号: | 201821106930.5 | 申请日: | 2018-07-12 |
公开(公告)号: | CN208477288U | 公开(公告)日: | 2019-02-05 |
发明(设计)人: | 汪孝军;廖平强;张胜 | 申请(专利权)人: | 中山新诺科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 曾旻辉 |
地址: | 528437 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 辊轮 线路板 输送装置 曝光机 位移检测元件 投影曝光系统 旋转驱动机构 曝光效率 输送通道 控制器 本实用新型 电性连接 辊轮传动 间隔设置 运动保持 轴线转动 曝光 检测 配合 保证 生产 | ||
1.一种线路板的输送装置,其特征在于,包括:
第一辊轮;
第二辊轮,所述第二辊轮与所述第一辊轮相对间隔设置并配合形成用于输送线路板的输送通道;
旋转驱动机构,所述旋转驱动机构与所述第二辊轮传动连接、用于使所述第二辊轮绕所述第二辊轮的轴线转动;
位移检测元件,所述位移检测元件用于检测所述线路板在所述输送通道内的位移;及
控制器,所述控制器与所述位移检测元件及投影曝光系统均电性连接。
2.根据权利要求1所述的输送装置,其特征在于,还包括升降机构,所述升降机构与所述第一辊轮传动连接、用于带动所述第一辊轮沿靠近或远离所述第二辊轮的方向往复运动;
当所述升降机构处于第一状态时,所述第一辊轮与所述第二辊轮配合形成所述输送通道;
当所述升降机构处于第二状态时,所述第一辊轮远离所述第二辊轮设置并配合形成进给通道。
3.根据权利要求1所述的输送装置,其特征在于,所述第一辊轮至少为两个,至少两个所述第一辊轮沿所述线路板的进给方向相对间隔设置,且至少两个所述第一辊轮设置于所述线路板的上方;所述第二辊轮至少为两个,至少两个所述第二辊轮沿所述进给方向相对间隔设置,至少两个所述第二辊轮设置于所述线路板的下方,且每个所述第二辊轮与一个所述第一辊轮相对间隔设置并配合形成所述输送通道。
4.根据权利要求3所述的输送装置,其特征在于,还包括传动带,所述传动带与每个所述第二辊轮和所述旋转驱动机构的旋转输出端均传动连接。
5.根据权利要求4所述的输送装置,其特征在于,还包括张紧机构,所述张紧机构用于调整所述传动带与所述第二辊轮之间的张紧力和/或与所述旋转输出端之间的张紧力。
6.根据权利要求5所述的输送装置,其特征在于,所述张紧机构包括至少一个张紧轮,两个相邻的所述第二辊轮之间设有一个所述张紧轮,所述张紧轮设置于所述第二辊轮的下方,且所述张紧轮与所述传动带传动连接。
7.根据权利要求1至6任一项所述的输送装置,其特征在于,所述投影曝光系统包括用于对所述线路板的上表面进行曝光的第一光学引擎和用于对所述线路板的下表面进行曝光的第二光学引擎,所述第一光学引擎和所述第二光学引擎均垂直于所述线路板设置,且所述第一光学引擎和所述第二光学引擎均与所述控制器电性连接。
8.根据权利要求7所述的输送装置,其特征在于,所述第一光学引擎至少为两个,且至少两个所述第一光学引擎沿所述第一辊轮的长度方向相对间隔设置;所述第二光学引擎至少为两个,且至少两个所述第二光学引擎沿所述第二辊轮的长度方向相对间隔设置。
9.根据权利要求7所述的输送装置,其特征在于,至少两个所述第一光学引擎至少呈两列设置,相邻的两列所述第一光学引擎交错设置;至少两个所述第二光学引擎至少呈两列设置,相邻的两列所述第二光学引擎交错设置。
10.一种曝光机,其特征在于,包括:如权利要求1至9任一项所述的线路板的输送装置。
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