[实用新型]硅片输送载具及硅片传送装置

权利要求书

1.硅片输送载具，其特征在于：具有承载板（1）及由承载板（1）引伸的围栏（2），围栏（2）在承载板（1）的端头立起，且围栏（2）远离承载板（1）的一端设有耳托部（21）；承载板（1）和围栏（2）满足硅片侧立置放，耳托部（21）围设硅片的相应侧边。

2.根据权利要求1所述的硅片输送载具，其特征在于：所述围栏（2）由杆体弯折构造，围栏（2）具有前后间隔的立杆（22），立杆（22）之间的间隙适配硅片侧立置放，前后两根立杆（22）远离承载板（1）的一端由耳托部（21）连在一起。

3.根据权利要求1所述的硅片输送载具，其特征在于：所述承载板（1）与围栏（2）组合成凹字形，承载板（1）与硅片输送方向交叉横设，承载板（1）的上侧面与围栏（2）合围满足硅片侧立置放，且承载板（1）设有贯通上下侧面的镂空孔（11）。

4.根据权利要求3所述的硅片输送载具，其特征在于：所述承载板（1）的上侧面设有承垫部（12），该承垫部（12）垫高硅片的相应侧边，使硅片的相应侧边与承载板（1）的上侧面留有间隙。

5.硅片传送装置，其特征在于：该硅片传送装置具有上述权利要求1~4任一项的硅片输送载具，该硅片输送载具的承载板（1）固定在链条（3）上，链条（3）组装啮合链轮（4），链轮（4）安装在转动轴（5）上，转动轴（5）安装在固定座（6）上；硅片输送载具的围栏（2）朝远离链条（3）的方向凸伸，且承载板（1）和围栏（2）满足硅片侧立置放，围栏（2）在承载板（1）的端头立起，且围栏（2）远离承载板（1）的一端设有耳托部（21），耳托部（21）围设硅片的相应侧边。

6.根据权利要求5所述的硅片传送装置，其特征在于：所述承载板（1）通过支撑立杆（7）固定在链条（3）上，支撑立杆（7）的一端连接承载板（1）的居中位；承载板（1）与围栏（2）组合成凹字形，承载板（1）与硅片输送方向交叉横设，承载板（1）的上侧面与围栏（2）合围满足硅片侧立置放，且承载板（1）设有贯通上下侧面的镂空孔（11）。

7.根据权利要求5所述的硅片传送装置，其特征在于：所述围栏（2）由杆体弯折构造，围栏（2）具有前后间隔的立杆（22），立杆（22）之间的间隙适配硅片侧立置放，前后两根立杆（22）远离承载板（1）的一端由耳托部（21）连在一起。

8.根据权利要求5或6所述的硅片传送装置，其特征在于：所述承载板（1）的上侧面设有承垫部（12），该承垫部（12）垫高硅片的相应侧边，使硅片的相应侧边与承载板（1）的上侧面留有间隙。

9.根据权利要求5所述的硅片传送装置，其特征在于：所述转动轴（5）上并列两个或两个以上的链轮（4），每个链轮（4）啮合连接一条链条（3），每条链条（3）上顺着链条长度间隔布置硅片输送载具。