[实用新型]一种基于衍射元件的LDI激光整形系统有效
| 申请号： | 201821102626.3 | 申请日： | 2018-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN208506380U | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 陈振才 | 申请（专利权）人： | 东莞市多普光电设备有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B27/42;G02B27/48 |
| 代理公司： | 北京易光知识产权代理有限公司 11596 | 代理人： | 李韵 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 整形 衍射元件 光路 本实用新型 激光整形系统 紫外激光光源 准直透镜组 光纤传导 曝光基板 投影镜头 激光器 投影镜头投影 成像模组 激光整形 均匀光斑 相位调制 衍射效率 集成度 上端 多合一 批量化 体积小 重量轻 合束 减小 半导体 照射 光纤 组装 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于衍射元件的LDI激光整形系统，其特征在于：包括有紫外激光光源(1)、光纤传导(2)、整形光路(3)、投影镜头(4)、曝光基板(5)，紫外激光光源(1)为半导体的激光器，且多组激光器通过多合一光纤合束，光束经过光纤传导(2)后照在整形光路(3)上，再经整形光路(3)的相位调制作用照射在投影镜头(4)上，通过投影镜头(4)投影至曝光基板(5)上端；
整形光路(3)包括有衍射元件(31)及准直透镜组(32)。
2.根据权利要求1所述的一种基于衍射元件的LDI激光整形系统，其特征在于：所述衍射元件(31)为DOE光学元件。
3.根据权利要求1所述的一种基于衍射元件的LDI激光整形系统，其特征在于：所述衍射元件(31)设有水冷散热器(33)。
4.根据权利要求1所述的一种基于衍射元件的LDI激光整形系统，其特征在于：所述准直透镜组(32)采用双透镜结构。
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