[实用新型]一种超高压波长型MEMS光纤F-P压力计有效
| 申请号： | 201821079520.6 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN208653683U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 杨先辉;李拥军;刘萍;蔡军;雷鹏;程晓东;文宏武;吴志力;唐亮;张洪亮;张运科;王鹏 | 申请（专利权）人： | 中国石油集团渤海钻探工程有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 刘莹 |
| 地址： | 300457 天津市滨*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压力计 玻璃反射板 超高压 反射板 光纤 波长 本实用新型 导入光纤 阳极键合 传感头 光学干涉 压力测量 安装槽 反射面 耐压 | ||
1.一种超高压波长型MEMS光纤F-P压力计，其特征在于：包括压力计本体(1)和耐压基体(2)；所述压力计本体(1)包括传感头和导入光纤(11)，所述传感头包括硅反射板(12)和玻璃反射板(13)，所述硅反射板(12)与玻璃反射板(13)通过阳极键合连接；硅反射板(12)与玻璃反射板(13)相接触面设置光纤F-P腔(14)；所述玻璃反射板(13)与硅反射板(12)相对一侧设置导入光纤安装槽(15)；
所述耐压基体(2)设置为圆柱形，所述耐压基体(2)外缘设置内凹的测压腔(21)，所述测压腔(21)内设置压力计本体(1)，所述测压腔(21)由压力盖板(3)封装；所述耐压基体(2)上设置外界与测压腔(21)相联通的导入光纤穿孔(22)；所述导入光纤(11)一端从导入光纤穿孔(22)穿入插入导入光纤安装槽(15)内。
2.根据权利要求1所述的一种超高压波长型MEMS光纤F-P压力计，其特征在于：所述耐压基体(2)两端部分别设置环形凸起(24)，通过环形凸起(24)与转换端接(4)焊接固定。
3.根据权利要求2所述的一种超高压波长型MEMS光纤F-P压力计，其特征在于：所述耐压基体(2)轴向设置贯穿的传输光纤穿孔(23)，所述传输光纤穿孔(23)与转换端接(4)通孔相连通。
4.根据权利要求3所述的一种超高压波长型MEMS光纤F-P压力计，其特征在于：所述传输光纤穿孔(23)设置于耐压基体(2)轴中心线远离测压腔(21)一侧。
5.根据权利要求4所述的一种超高压波长型MEMS光纤F-P压力计，其特征在于：所述导入光纤穿孔(22)与传输光纤穿孔(23)相平行。
6.根据权利要求1所述的一种超高压波长型MEMS光纤F-P压力计，其特征在于：所述耐压基体(2)设置为316L材质，外表层镀金。
7.根据权利要求6所述的一种超高压波长型MEMS光纤F-P压力计，其特征在于：所述压力盖板(3)设置为半圆弧型，所述耐压基体(2)与压力盖板(3)采用激光填料点焊接。
8.根据权利要求1所述的一种超高压波长型MEMS光纤F-P压力计，其特征在于：所述压力计本体(1)与测压腔(21)底内壁高温胶固定连接。
9.根据权利要求1所述的一种超高压波长型MEMS光纤F-P压力计，其特征在于：所述导入光纤(11)为单膜9/125um光纤。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国石油集团渤海钻探工程有限公司，未经中国石油集团渤海钻探工程有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821079520.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
