[实用新型]用于PVT仪器的清洗回收装置

权利要求书

1.一种用于PVT仪器的清洗回收装置，其特征在于，包括清洗组件(10)和处理组件(20)，所述清洗组件(10)设置在PVT仪器(30)的上游位置处，所述处理组件(20)设置在所述PVT仪器(30)的下游位置处，其中，所述清洗组件(10)包括至少一个罐体，至少一个所述罐体内容置有清洗剂，所述清洗剂包括溶剂油清洗剂(11)、石油醚清洗剂(12)或乙醇清洗剂(13)中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的清洗回收装置，其特征在于，所述清洗回收装置还包括动力部(40)，所述动力部(40)与所述罐体连通，以在所述动力部(40)作用时将所述罐体内的所述清洗剂压入所述PVT仪器(30)内。

3.根据权利要求2所述的清洗回收装置，其特征在于，至少一个所述罐体用于存储由所述动力部(40)供给的动力源。

4.根据权利要求2或3所述的清洗回收装置，其特征在于，所述动力部(40)与所述罐体连通的管路上设置有第一控制阀(50)。

5.根据权利要求4所述的清洗回收装置，其特征在于，所述罐体为多个，所述动力部(40)通过动力总管路(60)、动力分配管路(70)与各所述罐体连接，其中，所述动力分配管路(70)的个数与所述罐体的个数一致且二者一一对应设置，各所述动力分配管路(70)均连通至所述动力总管路(60)上，所述动力部(40)连接在所述动力总管路(60)的端部，且所述第一控制阀(50)设置在所述动力总管路(60)上。

6.根据权利要求5所述的清洗回收装置，其特征在于，所述清洗回收装置还包括多个第二控制阀(80)，各所述动力分配管路(70)上均对应设置有一个所述第二控制阀(80)。

7.根据权利要求2或3所述的清洗回收装置，其特征在于，所述罐体为多个，所述PVT仪器(30)通过过流总管路(120)、过流分配管路(130)与各所述罐体连接，其中，所述过流分配管路(130)的个数与所述罐体的个数一致且二者一一对应设置，各所述过流分配管路(130)均连通至所述过流总管路(120)上，所述过流总管路(120)上还设置有第三控制阀(90)。

8.根据权利要求7所述的清洗回收装置，其特征在于，所述清洗回收装置还包括多个第四控制阀(100)，各所述过流分配管路(130)上均对应设置有一个所述第四控制阀(100)。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的清洗回收装置，其特征在于，所述处理组件(20)包括分离器(21)和尾气处理器(22)，所述分离器(21)和所述尾气处理器(22)通过处理管路连接在所述PVT仪器(30)上，且所述分离器(21)位于所述尾气处理器(22)的上游位置处，所述PVT仪器(30)与所述分离器(21)连接的管段上设置有第五控制阀(110)。

10.根据权利要求9所述的清洗回收装置，其特征在于，所述分离器(21)的顶部设置有进口(211)和排气口(212)，所述分离器(21)的底部设置有排液口(213)。

11.根据权利要求9所述的清洗回收装置，其特征在于，所述尾气处理器(22)包括分离杯，所述分离杯内存储有碳酸氢钠溶液，由所述分离器(21)内排出的尾气通入所述碳酸氢钠溶液中进行中和后再向外排出。