[实用新型]一种基于伽马能谱仪的自动换样设备

说明书

本实用新型公开了一种基于伽马能谱仪的自动换样设备，包括滑动机构与检修机构，所述滑动机构包括底板与自动换样机，所述底板表面开设有一体式结构的滑道，所述滑道两侧开设有限位槽，所述限位槽顶部相对于滑道两侧开设有滑动槽，且所述滑动槽内侧连接有辊轮，所述滑道顶部连接有样品托盘，所述样品托盘两侧固定有限位块；通过在滑道内开设有限位槽与滑动槽，便于使用者在存取样品时，将样品托盘移动到合适的位置进行摆放后再推入自动换样机中，避免样品摔落或受到碰撞，有效的保护了样品的安全性，在自动换样机表面连接有滑动检修门，避免自动换样机发生故障时，维修人员因检修口较小，或未能及时打开检修门导致自动换样机发生不可逆的损伤。

技术领域

本实用新型属于换样设备技术领域，具体涉及一种基于伽马能谱仪的自动换样设备。

背景技术

能谱仪是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用，而晶圆所用的换样设备则是基于伽马能谱仪，便于在工作的过程中，准确的将八英寸的晶圆与十二英寸的晶圆区分开并自动转换样品，节省了大量的人力资源。

然而现有的基于伽马能谱仪的自动换样设备在使用的过程中仍存在一些不足之处，现有的基于伽马能谱仪的自动换样设备在使用时：

1.现有的基于伽马能谱仪的自动换样设备在使用的过程中，由于样品托盘处于换样机内部，在存取样品时，可能会导致样品不慎掉落或受到碰撞，给使用者造成一定程度的麻烦。

2.现有的基于伽马能谱仪的自动换样设备在使用的过程中，由于检修门较小，且不便于检修人员打开，在自动换样设备出现故障时，不便于检修人员对故障进行排查、检修，且耽误了检修进度，降低了检修人员的工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基于伽马能谱仪的自动换样设备，以解决上述背景技术中提出现有的基于伽马能谱仪的自动换样设备在使用的过程中，由于样品托盘处于换样机内部，在存取样品时，可能会导致样品不慎掉落或受到碰撞，给使用者造成一定程度的麻烦，现有的基于伽马能谱仪的自动换样设备在使用的过程中，由于检修门较小，且不便于检修人员打开，在自动换样设备出现故障时，不便于检修人员对故障进行排查、检修，且耽误了检修进度，降低了检修人员的工作效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基于伽马能谱仪的自动换样设备，包括滑动机构与检修机构，所述滑动机构包括底板与自动换样机，所述底板表面开设有一体式结构的滑道，所述滑道两侧开设有限位槽，所述限位槽顶部相对于滑道两侧开设有滑动槽，且所述滑动槽内侧连接有辊轮，所述滑道顶部连接有样品托盘，所述样品托盘两侧固定有限位块，所述限位块之间相对于样品托盘内部连接有弹簧a，所述限位块顶部相对于样品托盘两侧固定有夹块，所述夹块相对于样品托盘内部的一端与限位块相接。

所述自动换样机内部开设有一体式结构的横向滑轨，所述横向滑轨一侧相对于自动换样机内部连接有活动臂，所述活动臂表面开设有纵向滑轨，且所述纵向滑轨一侧连接有取样臂，所述取样臂底部相对于底板表面连接有样品托盘。

优选的，所述检修机构包括滑动检修门，所述滑动检修门两侧边缘处固定有滑块，所述滑动检修门表面连接有把手，且所述滑动检修门背离把手的一面连接有密封块，所述密封块相对于滑动检修门背部固定有弹簧b，且所述把手一端与密封块相接。

优选的，所述辊轮等距离排列在滑动槽内部，且所述限位块与限位槽、滑动槽相适配。

优选的，所述自动换样机表面开设有一体式结构的滑槽，且所述滑槽与滑块相适配。

优选的，所述滑槽之间开设有一体式结构的检修口，且所述密封块与检修口相适配。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：