[实用新型]一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备

说明书

一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备，包括一个用于制备高纯二氧化碳的CO₂提纯装置，还包括用于检测总烃的第一色谱分析仪和用于检测甲烷烃的第二色谱分析仪，CO₂提纯装置输出端与第一色谱分析仪输入端连接以用于检测该CO₂提纯装置输出的高纯二氧化碳中的总烃含量；CO₂提纯装置输出端与第二色谱分析仪输入端连接，以用于检测该CO₂提纯装置输出的高纯二氧化碳中的甲烷烃含量。本实用新型能有效的对高纯二氧化碳中的总烃和甲烷烃进行在线分析，并保存数据和图谱，便于查询；能对高纯二氧化碳中的总烃和甲烷烃进行有效的检测，保证产品的质量；电子级高纯二氧化碳可用于验证工艺净化的有效性。

技术领域

本实用新型涉及电子级高纯二氧化碳中烃的检测分析方法，尤其是指一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备。

背景技术

本公司是以食品级二氧化碳为原料经纯化后得到电子级高纯度二氧化碳。电子级高纯二氧化碳可用于：在半导体制造中氧化、扩散、化学气相淀积、超临界清洗气体；某些反应的惰性介质；石墨反应器的热载体；输送易燃液体的压入气体、标准气、校正气、在线仪表标准气、特种混合气；检测分析用标准气体、医疗设备用气体。为了保证产品的质量，需在具有杂质去除效果的工艺过程中设立关键质量控制点，取样分析产品中的杂质含量是否降低到规定检测值以下，以此验证工艺净化的有效性。如在干燥后监测产品中的水含量，在脱轻组分后监测产品中的氢气、氧气、氮气、一氧化碳、总硫、总烃等含量，以确保最终的产品气体满足电子级高纯二氧化碳的要求，实现更高的生产效率。现有技术中存在高纯二氧化碳中的总烃和甲烷烃的检测存在效率低、有效性低的问题。

中国专利文献公开了一种高纯二氧化碳分析专用气相色谱仪（授权公告号CN202770815 U），其公开了一种高纯二氧化碳分析专用气相色谱仪，其进样系统包括十通控制阀、两组定量管，第一组定量管通过十通控制阀与预分离柱连接，预分离柱通过另一四通控制阀与分子筛柱连接，分子筛柱与高灵敏度热导检测器连接，高灵敏度热导检测器通过Ni转化炉与火焰离子化 检测器连接；第二组定量管通过十通控制阀与总烃分析柱连接，总烃分析柱与火焰离子化检测器连接。该方案可以一次进样完成对高纯二氧化碳中微量 H2、O2、N2、CO 及总烃等杂质的测定。

该专利虽然公开了用于分析高纯二氧化碳的专用气相色谱仪，但是并没有详细公开具体的设备以进行分析。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备，其主要目的在于克服现有检测领域没有一项技术能够高效检测高纯二氧化碳中的总烃和甲烷烃含量的缺陷。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备，包括一个用于制备高纯二氧化碳的CO₂提纯装置，还包括用于检测总烃的第一色谱分析仪和用于检测甲烷烃的第二色谱分析仪，所述CO₂提纯装置输出端与所述第一色谱分析仪输入端连接以用于检测该CO₂提纯装置输出的高纯二氧化碳中的总烃含量；所述CO₂提纯装置输出端与所述第二色谱分析仪输入端连接以用于检测该CO₂提纯装置输出端的高纯二氧化碳中的甲烷烃含量。

进一步的，所述第一色谱分析仪为9000THA总烃色谱分析仪。

进一步的，所述9000THA总烃色谱分析仪包括第一FID检测器。

进一步的，所述第二色谱分析仪为GC9560色谱分析仪。

进一步的，所述GC9560色谱分析仪包括第二FID检测器。