[实用新型]一种内循环的真空镀膜机用冷却辊

说明书

本实用新型公开了一种内循环的真空镀膜机用冷却辊，它涉及真空镀膜机技术领域；辊体的内部设置有安装仓，安装仓的内侧壁上安装有集热式散热套体，集热式散热套体的内侧安装有循环散热管体，且循环散热管体的两端分别设置有转轴体内部的中空孔内，两个转轴体分别设置在辊体两端的中心位置处，所述集热式散热套体包括集热套与散热套，集热套的内侧壁上安装有散热套；本实用新型便于实现快速冷却，且在冷却时能实现快速集热与散热，能提高效率，使用方便；能节省冷却时间，操作简便。

技术领域：

本实用新型属于真空镀膜机技术领域，具体涉及一种内循环的真空镀膜机用冷却辊。

背景技术：

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

现有的真空镀膜机用冷却辊在长时间冷却时会达不到使用效率，同时冷却效率降低，操作复杂。

实用新型内容：

为解决现有的真空镀膜机用冷却辊在长时间冷却时会达不到使用效率，同时冷却效率降低，操作复杂的问题；本实用新型的目的在于提供一种内循环的真空镀膜机用冷却辊。

本实用新型的一种内循环的真空镀膜机用冷却辊，它包括辊体、集热式散热套体、循环散热管体、转轴体；辊体的内部设置有安装仓，安装仓的内侧壁上安装有集热式散热套体，集热式散热套体的内侧安装有循环散热管体，且循环散热管体的两端分别设置有转轴体内部的中空孔内，两个转轴体分别设置在辊体两端的中心位置处，所述集热式散热套体包括集热套与散热套，集热套的内侧壁上安装有散热套。

作为优选，所述循环散热管体为螺旋式。

作为优选，所述散热套上设置有数个散热孔。

作为优选，所述集热套为波纹式集热套。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

一、便于实现快速冷却，且在冷却时能实现快速集热与散热，能提高效率，使用方便；

二、能节省冷却时间，操作简便。

附图说明：

为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中循环散热管体的结构示意图；

图3为本实用新型中集热式散热套体的结构示意图。

图中：1-辊体；2-集热式散热套体；3-循环散热管体；4-转轴体；2-1-集热套；2-2-散热套。

具体实施方式：

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中示出的具体实施例来描述本实用新型。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

在此，还需要说明的是，为了避免因不必要的细节而模糊了本实用新型，在附图中仅仅示出了与根据本实用新型的方案密切相关的结构和/或处理步骤，而省略了与本实用新型关系不大的其他细节。