[实用新型]光纤预制棒芯棒沉积装置

说明书

本实用新型是有关新型光纤预制棒芯棒沉积装置，包括：沉积腔体，腔体门；锁紧铰链，可开关也可固定腔体门与所述沉积腔体的侧面部位；锁紧装置部，固定所述铰链另一侧门的前面部位，在关门时进行固定的同时增加门与沉积腔体的贴紧度；传感器固定装置部，固定在所述沉积腔体的下方，在打开门时进行旋转从而防止与腔体门产生干扰。

技术领域

本实用新型适用于光纤预制棒芯棒沉积装置，能够提高光纤预制棒芯棒沉积设备腔体的密封性。

背景技术

目前制造光纤预制棒芯棒的工艺有化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)、外部气相沉积(Outside Vapor Deposition,OVD)、气相轴向沉积(Vapor-phase Axial Deposition,VAD)等方法。

上述OVD方法是在石英棒的外部沉积相应材料的方法，是适合大型芯棒制造的方法。

注册专利KR10-0342593号(2002年6月18日注册，光纤预制棒芯棒沉积装置)记载了一种沉积装置的结构，通过利用包括激光发射器与接收器的感应工具测量沉积的光纤预制棒芯棒的外径，从而使芯棒的外侧与加热器之间的距离保持不变。

在上述的注册专利的图3中记载了激光发生装置与接收装置位于沉积腔体内，因长期高温环境，并且测量沉积外径工具本身耐高温相对较差，因此缩短沉积外径测量工具的寿命，存在需经常更换的问题。

为了解决如上所述的问题，对利用现有的激光测量沉积外径的装置进行了改良，即将激光的位置设置在沉积装置的外部。

尤其是配置透明的观察窗使光透射的方式。此时，将传感器直接附着在设置有观察窗的门，在这一情况下，因为热通过腔体门直接导热至传感器，因此传感器没有直接安装在沉积腔体门，而是使用固定装置，将传感器固定在门下侧部结构物所述观察窗的特性位置。

现有的固定装置起到固定光学性传感器的作用，在打开腔体门清扫沉积腔体内部作业时，由于固定装置干扰到腔体门，因此必须分离固定装置。

沉积腔体内部清扫之后需要重新结合固定装置的时候，所述传感器有可能不在正确的位置，因此必须要有调整的过程，以使所述传感器位于正确的位置。

在现有技术基础上由于必须拆开固定装置才能打开门，所以所需的作业时间相对长，当清洁操作完成后关闭门并重新结合固定装置时，因加工公差改变传感器位置，虽然该变化非常微小，但是传感器位置改变可能导致外径测量误差，进而成为产量降低的原因。

同时，在需要调整传感器位置时，存在需要制作新的固定装置的问题。

另外，所述注册专利记载了制造光纤预制棒芯棒之后用于取出产品的门，优选为在沉积粉末体时沉积腔体内保持恒定的温度与气体的浓度，根据门的气密性决定温度以及浓度的保持性。

注册专利KR10-1410880号(利用连接结构的门开关装置，2014年6 月17日注册)公开了一种开关装置，利用连接结构可容易的开关门，并且能够提高气密性，但是这是适合上部门的结构，在前面设置门(诸如，光纤预制棒芯棒沉积腔体)的情况，则不容易使用该结构。

实用新型内容

(需要解决的问题)

考虑到如上述现有技术的问题，本实用新型是提供能够提高腔体门气密性的光纤预制棒芯棒沉积装置。

另外，本实用新型提供无需拆卸外径测量用传感器的固定装置也能够打开门的光纤预制棒芯棒沉积装置。

另外，本实用新型提供无需对传感位置单独进行调整的过程也能够使传感器始终位于已设定的位置的光纤预制棒芯棒沉积装置。

同时，提供在需要调整传感器位置时可通过简单的操作调整传感器的位置的光纤预制棒芯棒沉积装置。