[实用新型]磷化氢数据传感器

说明书

磷化氢数据传感器，包括传感器安装盘和换气箱，所述传感器安装盘设于换气箱内，该换气箱整体呈圆缺形，与传感器安装盘同心设置，传感器安装盘的中心设有中心轴，中心轴贯穿换气箱并且通过轴承与换气箱连接，中心轴与传感器安装盘固定连接；传感器安装盘内设有三个均匀环形阵列分布的安装孔，安装孔的外端延伸到传感器安装盘的外周构成开口，三个安装孔内分别设有一个磷化氢传感器；该磷化氢数据传感器通过换气箱为传感器提供恢复的场所，利用传感器安装盘对传感器的工作进行换位，使传感器能够不长时间暴露在监测环境中，延长其使用寿命，提高检测精度，值得大力推广。

技术领域

本实用新型涉及传感器技术领域，尤其是一种磷化氢数据传感器。

背景技术

磷化氢(化学式：PH3)是一种有臭味的无色、易燃气体，有剧毒，吸入磷化氢会对心脏、呼吸系统、肾、肠胃、神经系统和肝脏造成影响。磷化氢是IC制造的原料，也是半导体器件重要的N型掺杂源，同时，磷化氢还用于多晶硅化学气相沉淀、离子注入等工艺中，在烟叶醇化加工中也会使用到磷化氢作为熏蒸。磷化氢作为高毒易燃气体，在与之有关的化工合成和半导体制造中，通常利用磷化氢传感器对其进行监测，以起到安全保护作用。

现有技术中的磷化氢传感器都是长时间暴露在监测环境中，由于是一种电化学气体传感器，因此其长时间暴露在监测环境中会导致磷化氢传感器灵敏度降低，检测准确度降低，缩短其使用寿命。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种使用寿命长的磷化氢数据传感器。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：磷化氢数据传感器，包括传感器安装盘和换气箱，所述传感器安装盘设于换气箱内，该换气箱整体呈圆缺形，与传感器安装盘同心设置，传感器安装盘的中心设有中心轴，中心轴贯穿换气箱并且通过轴承与换气箱连接，中心轴与传感器安装盘固定连接；传感器安装盘内设有三个均匀环形阵列分布的安装孔，安装孔的外端延伸到传感器安装盘的外周构成开口，三个安装孔内分别设有一个磷化氢传感器；换气箱的缺口处设有一个侧板，侧板上设有与传感器安装盘配合的开口，该侧板与传感器安装盘之间设有密封垫，换气箱的外周开有进气口和出气口，其中进气口通过管道连接排气管道，出气口通过管道连接风机的出风口。

作为本实用新型的进一步方案：所述中心轴的底部通过联轴器连接减速电机的输出轴。

作为本实用新型的进一步方案：所述磷化氢传感器为扩散型磷化氢传感器。

作为本实用新型的进一步方案：所述中心轴中心设有通孔，并且侧面设有与安装孔连通的连通孔，磷化氢传感器的引线能够从连通孔进入中心轴中心通孔，再从中心轴顶部延伸到外部。

作为本实用新型的进一步方案：所述磷化氢传感器上套上橡胶圈后通过橡胶圈的涨紧固定在安装孔内。

作为本实用新型的进一步方案：所述密封垫固定于侧板上。

作为本实用新型的进一步方案：所述换气箱整体是由一个弧形板、两个圆缺形端盖和一个侧板组成，其中两个圆缺形端盖设于弧形板的上下两端，侧板设于换气箱的缺口处，并且侧板与端盖和弧形板固定连接。

作为本实用新型的进一步方案：所述风机替换为惰性气体储罐。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该磷化氢数据传感器通过换气箱为传感器提供恢复的场所，利用传感器安装盘对传感器的工作进行换位，使传感器能够不长时间暴露在监测环境中，延长其使用寿命，提高检测精度，值得大力推广。

附图说明

图1为本实用新型的内部结构示意图。

图2为本实用新型的外部结构示意图。

图3为本实用新型的侧板的结构示意图。