[实用新型]一种高真空样品台随动挡板有效
| 申请号: | 201821027140.8 | 申请日: | 2018-07-02 |
| 公开(公告)号: | CN208632630U | 公开(公告)日: | 2019-03-22 |
| 发明(设计)人: | 李璐 | 申请(专利权)人: | 沈阳科诚真空技术有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 110000 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电机固定板 挡板 样品台 本实用新型 电机支架 驱动机构 高真空 立柱 随动 电机 高真空设备 减速电机 上固定板 下固定板 转动方轴 上端 联轴器 驱动轴 膜材 转轴 蒸发 污染 | ||
1.一种高真空样品台随动挡板,包括样品拖挡板和设置在所述样品拖挡板上端的立柱,其特征在于,所述立柱上端设置有电机支架、驱动机构和挡板,所述电机支架包括电机上固定板、电机下固定板和电机固定板支柱,所述电机固定板支柱包括第一电机固定板支柱、第二电机固定板支柱、第三电机固定板支柱和第四电机固定板支柱,所述电机上固定板通过所述第一电机固定板支柱、所述第二电机固定板支柱、所述第三电机固定板支柱、所述第四电机固定板支柱与所述电机下固定板固定连接,所述驱动机构包括减速电机、联轴器、直接转轴、样品台转动方轴和挡板驱动轴,所述电机上固定板上端设置有所述减速电机,所述联轴器位于所述电机上固定板和所述电机下固定板之间,所述电机下固定板下端设置有所述直接转轴,所述减速电机通过所述联轴器与所述直接转轴转动连接,所述直接转轴通过设置在其下方的所述样品台转动方轴与所述挡板驱动轴连接,所述挡板驱动轴与所述挡板连接。
2.如权利要求1所述的高真空样品台随动挡板,其特征在于,所述挡板驱动轴下端连接有深沟球轴承,所述深沟球轴承通过设置在其上的挡板轴承套与所述挡板转动连接。
3.如权利要求2所述的高真空样品台随动挡板,其特征在于,所述电机支架侧端设置有接触开关架,所述接触开关架上设置有接触开关。
4.如权利要求3所述的高真空样品台随动挡板,其特征在于,所述挡板驱动轴与所述挡板之间通过挡圈连接。
5.如权利要求4所述的高真空样品台随动挡板,其特征在于,所述联轴器上设置有限位柱,所述限位柱位于所述电机下固定板的上方。
6.如权利要求5所述的高真空样品台随动挡板,其特征在于,所述减速电机的型号为ZGA37RG627i。
7.如权利要求6所述的高真空样品台随动挡板,其特征在于,所述接触开关的型号为XSS-5GL。
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