[实用新型]一种用于铸管退火炉的冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种用于铸管退火炉的冷却装置，包括防护壳，所述防护壳内部安装有固定架，且防护壳顶端连接有出气管，所述固定架内侧固定有第一风机，且第一风机右侧连接有冷凝箱，所述冷凝箱下端固定有第二连接管，且冷凝箱右侧安装有连接件，所述出气管内部固定有第二风机，且出气管下端连接有连接管，所述连接管外部固定有进气管，且进气管外部设置有退火炉体，所述第二连接管下端连接有水泵，且水泵左侧固定有第一连接管。该用于铸管退火炉的冷却装置设有导气结构，可以有效的将退火炉内部的高温气体导出，提高冷却的效果，而且该装置可以有效的对进入到退火炉内部的空气进行降温，使空气的温度处于比较低的状态，提高该装置的冷却效果。

技术领域

本实用新型涉及铸管退火炉技术领域，具体为一种用于铸管退火炉的冷却装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

一般用于退火炉的冷却装置结构比较简单，只是将外界的冷空气注入到退火炉的内部，以此来降低退火炉内部的温度，但是此种方法冷却效果较差，达不到冷却的效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于铸管退火炉的冷却装置，以解决上述背景技术中提出的目前市场上退火炉的冷却装置结构比较简单，只是将外界的冷空气注入到退火炉的内部，以此来降低退火炉内部的温度，但是此种方法冷却效果较差，达不到冷却的效果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于铸管退火炉的冷却装置，包括防护壳，所述防护壳内部安装有固定架，且防护壳顶端连接有出气管，所述固定架内侧固定有第一风机，且第一风机右侧连接有冷凝箱，所述冷凝箱下端固定有第二连接管，且冷凝箱右侧安装有连接件，所述出气管内部固定有第二风机，且出气管下端连接有连接管，所述连接管外部固定有进气管，且进气管外部设置有退火炉体，所述第二连接管下端连接有水泵，且水泵左侧固定有第一连接管，所述连接件右侧安装有导气管。

优选的，所述冷凝箱包括冷凝箱主体、出液管、导气道和进液管，且冷凝箱主体左侧固定有出液管，冷凝箱主体内部安装有导气道，冷凝箱主体右侧设置有进液管。

优选的，所述冷凝箱主体远进液管端为棱台形凹槽结构，且导气道均匀分布在冷凝箱主体的内部，并且冷凝箱主体内部为中空结构。

优选的，所述进气管外部为棱台形结构，且其近连接管端面积小于远连接管端面积，并且连接管外部形状为“L”型。

优选的，所述导气管内部为六边形状穿孔结构，且其中心点与连接件的中心线处于同一条直线上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该用于铸管退火炉的冷却装置设有导气结构，可以有效的将退火炉内部的高温气体导出，提高冷却的效果，而且该装置可以有效的对进入到退火炉内部的空气进行降温，使空气的温度处于比较低的状态，提高该装置的冷却效果。该装置的冷凝箱可以对空气进行降温，使空气的温度处于比较低的状态，这样低温的空气在进入到退火炉体内部后，可以有效的对退火炉体内部进行降温的工作，而且进气管远连接管端面积比较大，这样可以快速的将退火炉体内部的热空气导入到连接管的内部，而连接管会将热空气通过出气管排出，使退火炉体内部的热空气可以快速减少，提高该装置的冷却效果。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型连接件与导气管连接结构示意图；

图3为本实用新型冷凝箱结构示意图。