[实用新型]气体传输装置有效
| 申请号： | 201821024715.0 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN208779132U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 涂宏彬 | 申请（专利权）人： | 涂宏彬 |
| 主分类号： | F17C13/00 | 分类号： | F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;F17D1/02;F17D1/075;F17D3/01;F17D3/18 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 程殿军 |
| 地址： | 中国台湾台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子式 质量流量控制器 气体传输装置 本实用新型 质量流量计 气瓶 电性连接 管路连接 控制器 低挥发 输出量 压制 | ||
1.一种气体传输装置，其特征在于，其包括：
一气瓶；
一电子式质量流量控制器，连接该气瓶；
一电子式质量流量计，经由一管路连接该电子式质量流量控制器；
一控制器，电性连接该电子式质量流量控制器与该电子式质量流量计。
2.如权利要求1所述的气体传输装置，其特征在于，该电子式质量流量控制器为一自动控制阀门。
3.如权利要求1所述的气体传输装置，其特征在于，该电子式质量流量控制器为一数字式电子式质量流量控制器。
4.如权利要求1所述的气体传输装置，其特征在于，该电子式质量流量计为一数字式电子式质量流量计。
5.如权利要求1所述的气体传输装置，其特征在于，该电子式质量流量计的一输出端，连接数个制程系统。
6.如权利要求5所述的气体传输装置，其特征在于，还包含一压力感测器，连接于该电子式质量流量计与该些制程系统之间。
7.如权利要求1所述的气体传输装置，其特征在于，还包含一加热元件，披覆在该气瓶的外部。
8.如权利要求7所述的气体传输装置，其特征在于，还包含一加热控制器，电性连接于该控制器与该气瓶之间。
9.如权利要求1所述的气体传输装置，其特征在于，该质量流量控制器的精度在正负1％以内，线性度在正负0.5％以内，再现性在正负0.2％以内，且反应时间在3秒以内。
10.如权利要求1所述的气体传输装置，其特征在于，该电子式质量流量计的精度在正负1％以内，线性度在正负0.5％以内，再现性在正负0.2％以内，且反应时间在3秒以内。
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