[实用新型]喷嘴

说明书

本实用新型公开了一种喷嘴，涉及多晶硅生产设备技术领域，主要目的是提供一种能够提高多晶硅生产效率的喷嘴。本实用新型的主要技术方案为：一种喷嘴，包括：芯体，所述芯体具有第一喷洒孔，所述第一喷洒孔的两端连通所述芯体的两端，所述芯体还具有多个第二喷洒孔，每个所述第二喷洒孔的两端连通所述芯体的两端，每个所述第二喷洒孔螺旋环绕设置在所述第一喷洒孔的边缘，并且与所述第一喷洒孔相互连通；壳体，所述壳体套装在所述芯体上，用于固定所述芯体。本实用新型主要用于多晶硅生产。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种喷嘴。

背景技术

随着社会的快速发展，光伏领域得到越来越多的人的重视，而单晶硅成为太阳能电池板的主要材料。制作单晶硅的过程中，还原炉内通过通电高温硅芯将三氯氢硅与氢气的混和气体反应生成多晶硅并沉积在硅芯上，最终产物是沉积在硅芯上的多晶硅。由于还原炉内的进料气体是否分布均匀，以及气体的停留时间对多晶硅的生产质量和速度起到关键的作用，因此，一种能够使还原炉内进料气体分布均匀的喷嘴能够决定多晶硅的生产效率和生产质量。

现有的喷嘴通常采用通常由喷嘴芯体和外罩组成，芯体上设置进气孔，通过进气孔向还原炉内喷入三氯氢硅与氢气的混和气体，但是，由于芯体上的进气孔为直筒形状，当还原炉内的温度较高时，多晶硅会在进气孔的位置发生结硅的现象，导致进气孔阻塞，从而降低了多晶硅的生产效率和生产质量。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种喷嘴，主要目的是提供一种能够提高多晶硅生产效率的喷嘴。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种喷嘴，包括：

芯体，所述芯体具有第一喷洒孔，所述第一喷洒孔的两端连通所述芯体的两端，所述芯体还具有多个第二喷洒孔，每个所述第二喷洒孔的两端连通所述芯体的两端，每个所述第二喷洒孔螺旋环绕设置在所述第一喷洒孔的边缘，并且与所述第一喷洒孔相互连通；

壳体，所述壳体套装在所述芯体上，用于固定所述芯体。

进一步的，所述第一喷洒孔的轴线与所述芯体的轴线相互重合。

进一步的，所述第一喷洒孔具有边缘侧面，每个所述第二喷洒孔的轴线分别与所述边缘侧面相互重合。

进一步的，所述芯体还具有底面和顶面，所述第一喷洒孔的两端连通所述底面和所述顶面，每个所述第二喷洒孔的两端连通所述底面和所述顶面。

进一步的，所述芯体还具有侧面，所述侧面具有螺纹，用于安装所述芯体。

进一步的，所述第二喷洒孔的轴线与所述底面之间形成第一角度，所述第一角度的范围为40度至60度。

进一步的，外罩，所述外罩的一端可拆卸连接于所述壳体，另一端朝向远离所述芯体的方向延伸。

进一步的，所述外罩的形状为梯形。

与现有技术相比，本实用新型具有如下技术效果：