[实用新型]硅棒测试装置

权利要求书

1.一种硅棒测试装置，包括支撑台、与所述支撑台滑动连接的测试架、设于所述支撑台一侧的检测组件，其特征在于，所述测试架包括与所述支撑台连接的底板、设于所述底板中部柔性垫，以及设于所述底板边缘的至少四个挡板，四个所述挡板分别设于所述底板的一个边角，所述底板中部设有安装区域，所述柔性垫设置于所述安装区域内。

2.根据权利要求1所述的硅棒测试装置，其特征在于，每一所述挡板的内侧均设有一个缓冲垫。

3.根据权利要求1所述的硅棒测试装置，其特征在于，所述检测组件包括与所述支撑台连接的安装架和设于所述安装架上的激光光源、光谱仪、成像器，所述安装架包括与所述支撑台连接的连接板和与所述连接板连接的安装板，所述安装板一端与所述连接板连接，另一端朝向支撑台的中部延伸，且所述安装板与所述支撑台平行，所述激光光源、所述光谱仪以及所述成像器均设于所述安装板上。

4.根据权利要求1所述的硅棒测试装置，其特征在于，所述测试架通过一个滑移组件与所述支撑台连接，所述滑移组件包括设于所述底板底端的滚珠丝杠和设于所述支撑台上的直线导轨。

5.根据权利要求1所述的硅棒测试装置，其特征在于，所述柔性垫的上端均匀设有多个柔性凸块。

6.根据权利要求1所述的硅棒测试装置，其特征在于，所述底板的每一边均设有一个起物缺口。

7.根据权利要求1所述的硅棒测试装置，其特征在于，所述支撑台的一侧设有一个到位挡板，所述到位挡板的内侧设有一个橡胶垫。

8.根据权利要求7所述的硅棒测试装置，其特征在于，所述到位挡板的高度小于所述底板的高度。

9.根据权利要求7所述的硅棒测试装置，其特征在于，所述到位挡板与所述底板对应的一侧设有一个吸盘。

10.根据权利要求3所述的硅棒测试装置，其特征在于，所述支撑台与所述安装板对应的位置设有至少一个摩擦垫。