[实用新型]一种栏具回流装置有效
申请号: | 201821011989.6 | 申请日: | 2018-06-28 |
公开(公告)号: | CN208385371U | 公开(公告)日: | 2019-01-15 |
发明(设计)人: | 申兵兵;王敬苗 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人: | 金海;周放 |
地址: | 102299 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 吊运 回流装置 小车 第一端 搬运 本实用新型 输出单元 输入单元 控制器 固定结构 自动循环 输入栏 省力 输出 移动 | ||
本实用新型提供了一种栏具回流装置,其包括回流框架、栏具输出单元、栏具输入单元、吊运小车以及控制器,栏具输入单元设置在回流框架的第一端,用于向第一端内输入栏具;栏具输出单元设置在回流框架的第二端,用于从第二端内输出栏具;吊运小车设置在回流框架内,并能够在回流框架内移动;控制器能够控制吊运小车在第一端与第二端之间往复运动;吊运小车上设置有用于与栏具相连接的固定结构。本实用新型的栏具回流装置,其能够实现栏具的自动循环搬运,而无需人工对栏具进行搬运,从而使得栏具的搬运较为省力。
技术领域
本实用新型涉及回流装置技术领域,具体涉及一种栏具回流装置。
背景技术
在目前的太阳能电池和半导体晶片生产过程中,晶片都需要装进栏具内进行湿法工艺处理。在湿法工艺处理结束之后,晶片被取出进行下一步工序,空的栏具需要重复循环使用。现有技术中通常是利用人工推车对栏具进行搬运,但此种方式比较费力,也不能实现栏具的自动循环搬运。因此,需要设计栏具回流装置,实现栏具的自动循环搬运,使得栏具的搬运较为省力。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种栏具回流装置,以实现栏具的自动循环搬运,使得栏具的搬运较为省力。
为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:
一种栏具回流装置,其包括回流框架、栏具输出单元、栏具输入单元、吊运小车以及控制器,所述栏具输入单元设置在所述回流框架的第一端,用于向所述第一端内输入栏具;所述栏具输出单元设置在所述回流框架的第二端,用于从所述第二端内输出栏具;所述吊运小车设置在所述回流框架内,并能够在所述回流框架内移动;所述控制器能够控制所述吊运小车在所述第一端与所述第二端之间往复运动;所述吊运小车上设置有用于与所述栏具相连接的固定结构。
优选地,所述回流框架内相对设置有第一导轨和第二导轨,所述第一导轨与所述第二导轨相互平行;所述吊运小车沿所述第一导轨和所述第二导轨做往复运动。
优选地,所述吊运小车包括横梁、分别设置在所述横梁的两端的两个安装块,所述安装块上设置有驱动装置,两所述安装块内均设置有由所述驱动装置驱动的滚轮,所述安装块的两侧相对设置有两个导向轮;所述控制器通过控制所述驱动装置驱动所述滚轮在所述第一导轨和所述第二导轨上滚动。
优选地,所述吊运小车还包括设置在所述横梁上的升降机构、连接杆,所述固定结构包括分别设置在所述连接杆两端的两个提手,两所述提手分别用于与位于所述栏具两侧的手柄相固定;所述升降机构的动力件与所述控制器相连;所述动力件的传动杆与所述连接杆相连,所述升降机构通过所述连接杆带动所述提手升起或降下。
优选地,所述连接杆上设置有导向杆,所述横梁上设置有供所述导向杆穿过的导向孔。
优选地,所述连接杆上设置有推杆,所述推杆的一端设置有用于与栏具的顶板相抵接的顶推块,所述推杆的另一端穿过所述连接杆上的通孔与固定螺母相连;所述推杆上套装有弹簧,所述弹簧的一端与所述顶推块相抵接,所述弹簧的另一端与所述连接杆相抵接。
优选地,其还包括第一支撑框架,所述第一支撑框架与所述第一端垂直相连,所述栏具输入单元包括有滑轨、与所述滑轨滑动配合的输送盘、传动机构以及驱动电机,所述滑轨设置在所述第一支撑框架上,并延伸至所述第一端内;所述驱动电机与所述传动机构的一端相连,所述输送盘与所述传动机构的另一端相连,所述驱动电机通过所述传动机构带动所述输送盘在所述滑轨上滑动。
优选地,所述吊运小车的个数为一个或两个;所述回流框架内设置有位于所述第一导轨和/或所述第二导轨的下方的集水盘,所述集水盘上设置有用于存放栏具的栏具缓存位置。
优选地,所述吊运小车上设置有与所述控制器相连的传感器,所述回流框架和/或所述第一导轨和/或所述第二导轨上设置有用于与所述传感器相配合的感应片;所述栏具缓存位置处设置有用于检测所述栏具缓存位置是否具有栏具的感应传感器,所述感应传感器与所述控制器相连。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造