[实用新型]一种超精密三坐标测试平台

权利要求书

1.一种超精密三坐标测试平台，其特征在于包括：

基座，所述基座设置成“L”形，“L”形基座的竖直端面上平行间隔设置有两限位块，两限位块之间形成滑道；

支承件连接件，所述支承件连接件设置成“7”形，所述支承件连接件的左端边上和底部均安装有方形平板真空预压气浮支承件，所述安装在支承件连接件的左端边上的方形平板真空预压气浮支承件放置于基座上两限位块之间形成的滑道内，安装在支承件连接件底部上的方形平板真空预压气浮支承件放置在基座底板的平面上；

安装在支承件连接件下方的X向直线电机，所述X向直线电机包括通过螺栓固定在基座底板上的直线定子和设置在直线定子上的动子，动子与支承件连接件的底部固定连接，直线定子驱动动子带动支承件连接件沿X向直线移动；

安装在支承件连接件下方且与X向直线电机平行设置的光栅尺基座，X向光栅尺安装在光栅尺基座顶部；

固定在支承件连接件顶部的第一Z向立柱，并行安装在第一Z向立柱一侧的第二Z向立柱，所述第二Z向立柱的底部安装有圆形平板真空预压气浮支承件，所述圆形平板真空预压气浮支承件放置在基座底板的平面上；所述第一Z向立柱和第二Z向立柱的侧壁上均开设有安装槽，所述安装槽内壁上安装有Z向光栅尺，Z向直线电机安装在所述安装槽内并与Z向光栅尺正对设置，第一真空预压气浮组件与Z向直线电机的动子固定连接，Z向直线电机驱动第一真空预压气浮组件沿Z向直线移动；

龙门横梁，所述龙门横梁的左端固定在第一Z向立柱的第一真空预压气浮组件上，龙门横梁的右端固定在第二Z向立柱的第一真空预压气浮组件上，所述龙门横梁的顶部设置有安装槽，安装槽的内壁上安装有Y向光栅尺，Y向直线电机安装在所述安装槽内并与Y向光栅尺正对设置，Y向直线电机的动子与第二真空预压气浮组件连接，Y向直线电机驱动第二真空预压气浮组件沿Y向直线移动；

固定在第二真空预压气浮组件底部的检测头，所述检测头与工业电脑连接。

2.如权利要求1所述的超精密三坐标测试平台，其特征在于：所述第一真空预压气浮组件和第二真空预压气浮组件的结构相同，均包括侧边气浮支承件和连接部气浮支承件，所述侧边气浮支承件由三个独立的方形平板真空预压气浮支承件通过螺钉连接或者焊接成“U”形，连接部气浮支承件通过螺钉固定在“U”形侧边气浮支承件的顶部，所述连接部气浮支承件的内壁与直线电机的动子固定连接。

3.如权利要求2所述的超精密三坐标测试平台，其特征在于：所述方形平板真空预压气浮支承件包括轴套壳和第一气浮微孔盖板，所述轴套壳内部设置有一个密闭的第一真空吸附腔，第一真空吸附腔的中心开设有第一抽气孔，轴套壳的侧壁上设置有第一泄气孔，所述第一抽气孔与第一泄气孔之间通过管道连接，第一真空吸附腔的周侧设置有多个呈“回”字形分布且向外渐扩的第一气膜腔，轴套壳的侧壁上设置有第一进气孔，所述第一进气孔与每个第一气膜腔连通，第一气浮微孔盖板盖覆在第一气膜腔上，第一气浮微孔盖板与第一真空吸附腔和轴套壳接触处均以密封胶密封连接。

4.如权利要求2或3所述的超精密三坐标测试平台，其特征在于：所述连接部气浮支承件包括壳体，壳体内侧盖覆有盖板，壳体上设置有两个并行间隔分布的气浮腔体，气浮腔体内开设有第二气膜腔，第二气膜腔表面盖覆有第二气浮微孔盖板，壳体端边上还设置有与气浮腔体对应的第二进气孔，所述第二进气孔与第二气膜腔通过管道连通，每个气浮腔体的左右两端均设置有一个第二真空吸附腔，每个第二真空吸附腔的中心均设置有第二抽气孔，壳体端边上对应设置有第二泄气孔，第二抽气孔与第二泄气孔之间通过抽真空管连接。

5.如权利要求4所述的超精密三坐标测试平台，其特征在于：所述基座上安装有两个对称设置的限位器，两个限位器正对支承件连接件设置，支承件连接件在两个限位器之间移动。

6.如权利要求1所述的超精密三坐标测试平台，其特征在于：所述光栅尺基座的前后两端安装有X向光电限位开关。

7.如权利要求1所述的超精密三坐标测试平台，其特征在于：所述第一Z向立柱和第二Z向立柱的安装槽内壁上均安装有Z向光电限位开关。

8.如权利要求1所述的超精密三坐标测试平台，其特征在于：所述龙门横梁的安装槽内壁上安装有Y向光电限位开关。