[实用新型]一种湿法槽式机的抛光槽

说明书

本申请公开了一种湿法槽式机的抛光槽，包括抛光槽本体，所述抛光槽本体包括外槽和顶部低于所述外槽顶部的内槽，所述内槽和所述外槽的下部分别具有第一排放控制阀门和第二排放控制阀门，所述外槽的侧部伸出一个循环管道，所述循环管道依次连接至少两个精度逐渐增加的过滤部件之后与循环泵的一端连接，所述循环泵的另一端连通至所述内槽的内部。上述湿法槽式机的抛光槽，既能够保证具有足够好的过滤效果，又能够减少滤芯损耗，降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及光伏设备技术领域，更具体地说，涉及一种湿法槽式机的抛光槽。

背景技术

近年来，太阳能电池片生产技术不断进步，生产成本不断降低，转换效率不断提高，使得光伏发电的应用日益普及并迅猛发展，逐渐成为电力供应的重要来源。

太阳能电池片的生产工艺主要包括：制绒、扩散、刻蚀、镀膜、印刷和烧结等。其中，制绒工序可采用金刚线切割+黑硅制绒的工艺，进一步降低了生产成本，黑硅电池片是指电池片外观为黑色或近于黑色的电池，其独特的微观纳米结构使其具备卓越的减反射性能。黑硅的制备方法有许多种，主要包括：反应离子刻蚀(RIE)、金属诱导湿法黑硅(MCCE)、激光加工(LP)、化学气相沉积(CVD)和等离子体浸没离子注入(PIII)。湿法黑硅(MCCE)技术是目前业界的主流生产工艺，利用硝酸银中Ag/Ag⁺系统的能量远低于硅的价带，使Ag+得到硅的价带电子，利用H₂O₂/HF腐蚀的过程在Ag周围加速与硅反应，在硅片表面腐蚀出纳米级绒面。整个工艺流程为碱抛去损伤-酸洗-沉银-挖孔-脱银-酸洗-扩孔-碱洗-酸洗-慢提烘干出料，每道功能槽中均有去离子清洗的步骤。目前黑硅工艺最常见的外观不良为小白点，其产生原因主要是硅片在进沉银槽前有脏污影响沉银效果，导致后续挖孔不良绒面未出绒，诱发这种现象的原因就是碱抛槽的脏污粘附在硅片表面，因此源头改善方式就是降低碱抛槽的脏污风险，而碱抛槽的脏污主要来源于机台上残留的碱结晶颗粒、硅片带来的有机物及颗粒物和硅片清洗过程的反应生成物组成。

现有技术中，解决碱抛槽脏污的主要手段为加装滤芯，滤芯能够过滤一定的药液脏污，但滤芯的精度选择及保养存在问题，精度过低则无法保证过滤效果，精度太大则滤芯损耗太大，造成成本较高。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种湿法槽式机的抛光槽，既能够保证具有足够好的过滤效果，又能够减少滤芯损耗，降低生产成本。

本实用新型提供的一种湿法槽式机的抛光槽，包括抛光槽本体，所述抛光槽本体包括外槽和顶部低于所述外槽顶部的内槽，所述内槽和所述外槽的下部分别具有第一排放控制阀门和第二排放控制阀门，所述外槽的侧部伸出一个循环管道，所述循环管道依次连接至少两个精度逐渐增加的过滤部件之后与循环泵的一端连接，所述循环泵的另一端连通至所述内槽的内部。

优选的，在上述湿法槽式机的抛光槽中，所述循环管道依次连接三个精度逐渐增加的过滤部件之后与所述循环泵的一端连接。

优选的，在上述湿法槽式机的抛光槽中，所述循环管道直接连接的过滤部件为孔径为25微米至35微米的第一滤芯。

优选的，在上述湿法槽式机的抛光槽中，所述循环泵的一端直接连接的过滤部件为孔径为0.5微米至1.5微米的第二滤芯。

优选的，在上述湿法槽式机的抛光槽中，连接在所述第一滤芯和所述第二滤芯之间的过滤部件为孔径为8微米至12微米的第三滤芯。

优选的，在上述湿法槽式机的抛光槽中，所述循环泵的另一端从所述内槽的底部连通至所述内槽的内部。