[实用新型]一种硅片上料装置有效

专利信息
申请号: 201821004240.9 申请日: 2018-06-27
公开(公告)号: CN208499691U 公开(公告)日: 2019-02-15
发明(设计)人: 王会敏;张浩强;李立伟;吕思迦;张稳 申请(专利权)人: 邢台晶龙电子材料有限公司
主分类号: B65G47/82 分类号: B65G47/82;B65G43/08
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 王丽巧
地址: 054001 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 硅片 传送带 上料支架 推送机构 硅片上料装置 检测开关 本实用新型 中间连接件 驱动部件 控制器 插片盒 移位 控制器连接 分层设置 分选设备 工作效率 径向运动 配合控制 升降机构 电连接 分选 启停 装载 抽取 驱动 检测
【权利要求书】:

1.一种硅片上料装置,包括带有升降机构的上料支架(7)和位于所述上料支架(7)上用于装载硅片(8)的插片盒(5),所述硅片(8)在所述插片盒(5)内自上而下分层设置,所述上料支架(7)下方设有用于输送所述硅片(8)的传送带(6),其特征在于,还包括用于推动所述硅片(8)移位的推送机构(1),所述推送机构(1)通过中间连接件与所述上料支架(7)连接,所述中间连接件上设有用于检测所述推送机构(1)位置的检测开关(17),所述检测开关(17)与控制器连接,所述控制器与驱动传送带(6)的驱动部件电连接。

2.根据权利要求1所述的硅片上料装置,其特征在于,所述推送机构(1)包括U形活动部(9)和位于所述活动部(9)的内侧用于推动所述硅片(8)的凸起(10),所述活动部(9)两端水平折弯部(18)的外侧分别设有第一固定部(2)和第二固定部(3),所述第一固定部(2)和第二固定部(3)一端分别与所述活动部(9)的折弯部(18)滑动连接、另一端分别与所述中间连接件铰接;所述第一固定部(2)和第二固定部(3)分别位于所述上料支架(7)顶部和底部;所述凸起(10)与所述插片盒(5)对应设置。

3.根据权利要求2所述的硅片上料装置,其特征在于,所述上料支架(7)内自上而下分层设置有若干个所述插片盒(5),所述凸起(10)分别与若干个所述插片盒(5)一一对应设置于所述活动部(9)的内侧。

4.根据权利要求2所述的硅片上料装置,其特征在于,所述凸起(10)高度小于所述插片盒(5)高度。

5.根据权利要求2所述的硅片上料装置,其特征在于,所述凸起(10)两侧分别设有用于限定所述活动部(9)的竖直部(19)位置的限位板(12),所述限位板(12)位于所述竖直部(19)上。

6.根据权利要求5所述的硅片上料装置,其特征在于,所述凸起(10)包括托架(15)和位于所述托架(15)上的硅胶(14),所述托架(15)位于所述竖直部(19)内侧。

7.根据权利要求2所述的硅片上料装置,其特征在于,所述中间连接件包括分别位于所述上料支架(7)顶部和底部的L形第一中间连接件(4)和第二中间连接件(16),所述第一中间连接件(4)和第二中间连接件(16)长边分别与所述第一固定部(2)和第二固定部(3)通过铰轴连接、短边分别与所述上料支架(7)连接;所述检测开关(17)位于所述第二中间连接件(16)短边上。

8.根据权利要求2所述的硅片上料装置,其特征在于,所述第一固定部(2)和第二固定部(3)上分别设有滑块(13),两个所述折弯部(18)侧面分别设有与所述滑块(13)配合的限位滑道(11)。

9.根据权利要求8所述的硅片上料装置,其特征在于,所述第一固定部(2)和第二固定部(3)长度均小于所述限位滑道(11)长度。

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