[实用新型]一种Demura多轴全自动检测机构有效
| 申请号： | 201820996165.2 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN208607159U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 罗军;龚四羊;乔洁 | 申请（专利权）人： | 武汉精测电子集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 黄行军 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连接架 本实用新型 对焦机构 滑台模组 旋转承台 摆动 齿轮 多轴 滑台 焦距调节机构 全自动调节 从动齿轮 方向调整 方向位移 同轴布置 依次设置 主动齿轮 活动端 驱动源 对焦 相机 | ||
1.一种Demura多轴全自动检测机构，包括机架(1)和CCD相机(2)，所述机架(1)上设置有用于驱动所述CCD相机(2)沿水平X轴和Y轴移动的滑台模组(3)，所述滑台模组(3)的活动端连接有连接架(4)，所述CCD相机(2)连接于所述连接架(4)下方；其特征在于：所述连接架(4)与所述CCD相机(2)之间由上至下依次设置有用于驱动所述CCD相机(2)绕竖直Z轴旋转的旋转承台机构(5)、用于驱动所述CCD相机(2)绕水平X轴和Y轴旋转的摆动滑台(6)和用于调节所述CCD相机(2)焦距的齿轮调焦机构(7)；所述齿轮调焦机构(7)包括基座(7.1)、第二驱动源(7.2)、主动齿轮(7.3)和从动齿轮(7.4)；所述基座(7.1)固接于所述摆动滑台(6)下端，所述基座(7.1)上固接有所述CCD相机(2)和所述第二驱动源(7.2)，所述第二驱动源(7.2)的输出端与所述主动齿轮(7.3)固接，所述CCD相机(2)的调焦处固接有所述从动齿轮(7.4)，所述主动齿轮(7.3)和所述从动齿轮(7.4)啮合传动；所述旋转承台机构(5)、所述摆动滑台(6)和所述CCD相机(2)三者同轴布置。
2.根据权利要求1所述一种Demura多轴全自动检测机构，其特征在于：所述CCD相机(2)和所述齿轮调焦机构(7)之间还设置有调焦限位机构(9)。
3.根据权利要求2所述一种Demura多轴全自动检测机构，其特征在于：所述调焦限位机构(9)包括固接于基座(7.1)下端的光电传感器(9.1)和与主动齿轮(7.3)同轴布置的感应环(9.2)，所述感应环(9.2)包括用于与光电传感器(9.1)的配合限位的感应部(9.2-1)和用于套装连接第二驱动源(7.2)输出端的连接部(9.2-2)。
4.根据权利要求3所述一种Demura多轴全自动检测机构，其特征在于：所述光电传感器(9.1)为两个，两个光电传感器(9.1)沿竖直方向上下布置；所述感应环(9.2)为两个，两个感应环(9.2)上的感应部(9.2-1)之间存在一夹角。
5.根据权利要求1所述一种Demura多轴全自动检测机构，其特征在于：所述旋转承台机构(5)包括固接在连接架(4)下端的旋转承台(5.1)和用于驱动旋转承台(5.1)工作的第一驱动源(5.2)。
6.根据权利要求1所述一种Demura多轴全自动检测机构，其特征在于：所述滑台模组(3)包括连接于所述机架(1)上且水平布置的第一直线滑台(3.1)和连接于所述第一直线滑台(3.1)上且水平布置的第二直线滑台(3.2)，所述第一直线滑台(3.1)与所述第二直线滑台(3.2)相互垂直布置。
7.根据权利要求6所述一种Demura多轴全自动检测机构，其特征在于：所述第一直线滑台(3.1)的固定端与所述机架(1)连接，所述第一直线滑台(3.1)的活动端与所述第二直线滑台(3.2)的固定端连接，所述第二直线滑台(3.2)的活动端与所述连接架(4)连接。
8.根据权利要求1所述一种Demura多轴全自动检测机构，其特征在于：所述基座(7.1)与所述摆动滑台(6)之间设置有用于布线的柱状连接台架(8)。
9.根据权利要求1所述一种Demura多轴全自动检测机构，其特征在于：所述机架(1)为U形。
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