[实用新型]一种蒸镀机的可视窗口结构及具有其的蒸镀机

说明书

本实用新型提供一种蒸镀机的可视窗口结构，包括一用于观察蒸镀机腔室内部情况的可视窗口，在可视窗口的内侧设有第一卷轴、第二卷轴和柔性透明材料，第一卷轴和第二卷轴分别设于可视窗口的两个相对侧，柔性透明材料卷绕于第一卷轴和第二卷轴上并横跨可视窗口，柔性透明材料的总长度大于可视窗口的对应长度，蒸镀机的可视窗口结构还包括与第一卷轴和第二卷轴的至少其中之一相连、以驱动第一卷轴和/或第二卷轴转动的驱动机构。进一步地，本实用新型还提供一种蒸镀机，其包括如上所述的蒸镀机的可视窗口结构。

技术领域

本实用新型涉及显示面板的制造设备技术领域，且特别涉及一种制造显示面板时用到的蒸镀机的可视窗口结构及具有其的蒸镀机。

背景技术

OLED(有机发光二极管)的制造过程中需要用到真空蒸镀机，为了便于在蒸镀过程中对蒸镀机的腔室内部情况进行观察，真空蒸镀机上一般设有可视窗口。然而，在使用过程中，可视窗口上容易沉积材料，尤其是金属腔室，因此，在长期蒸镀后，需要对可视窗口进行清洗。

为了解决可视窗口上容易沉积材料的问题，现有的一种解决办法是在可视窗口内部增加一块玻璃，从而透过可视窗口和其内部的玻璃观察腔室的内部情况，这样，在清洗的时候只需要清洗内部玻璃便可以，不用拆卸可视窗口的玻璃。但其仍然需要定期清洗内部玻璃，使用稍有不便。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种可避免蒸镀材料沉积到可视窗口上且清洗方便的蒸镀机的可视窗口结构及具有其的蒸镀机。

为达上述优点，本实用新型提供一种蒸镀机的可视窗口结构，包括一用于观察蒸镀机腔室内部情况的可视窗口，在可视窗口的内侧设有第一卷轴、第二卷轴和柔性透明材料，第一卷轴和第二卷轴分别设于可视窗口的两个相对侧，柔性透明材料卷绕于第一卷轴和第二卷轴上并横跨可视窗口，柔性透明材料的总长度大于可视窗口的对应长度，蒸镀机的可视窗口结构还包括与第一卷轴和第二卷轴的至少其中之一相连、以驱动第一卷轴和/或第二卷轴转动的驱动机构。

进一步地，驱动机构包括设于蒸镀机腔室内部的齿轮组和设于蒸镀机腔室外部的转动手柄，转动手柄和齿轮组通过一穿过蒸镀机腔室壁的连接轴连接。

进一步地，齿轮组包括相互啮合的第一锥齿轮和第二锥齿轮，第一锥齿轮设于第一卷轴或第二卷轴的端部，第二锥齿轮设于连接轴的位于蒸镀机腔室内部的一端。

进一步地，驱动机构包括驱动电机和控制器，驱动电机的输出轴与第一卷轴或第二卷轴相连，控制器与驱动电机电气连接。

进一步地，柔性透明材料的两端分别直接卷绕于第一卷轴和第二卷轴上。

进一步地，柔性透明材料的一端直接卷绕于第一卷轴上，柔性透明材料的另一端卷绕于套设于第二卷轴外的一卷筒上。

进一步地，蒸镀机腔室内部还设有一可绕其转轴转动的挡板，转轴穿透蒸镀机腔室壁且与一位于蒸镀机腔室外的挡板转动手柄相连，转轴与蒸镀机腔室壁密封连接，挡板转动手柄在不需要观察蒸镀机腔室内部情况时，将挡板转动至可遮住位于第一卷轴和第二卷轴之间的柔性透明材料的位置，在需要观察蒸镀机腔室内部情况时，将挡板转动至可露出位于第一卷轴和第二卷轴之间的柔性透明材料的位置。

进一步地，蒸镀机腔室内部还设有一可沿滑轨滑动的挡板，滑轨开设于蒸镀机腔室壁上，挡板通过穿透蒸镀机腔室壁的滑块与位于蒸镀机腔室外的挡板拨动手柄相连，滑块与蒸镀机腔室壁之间密封连接，挡板拨动手柄在不需要观察蒸镀机腔室内部情况时，将挡板拨动至可遮住位于第一卷轴和第二卷轴之间的柔性透明材料的位置，在需要观察蒸镀机腔室内部情况时，将挡板拨动至可露出位于第一卷轴和第二卷轴之间的柔性透明材料的位置。

进一步地，柔性透明材料为柔性透明玻璃或柔性透明耐高温薄膜。

进一步地，本实用新型还提供一种蒸镀机，其包括如上所述的蒸镀机的可视窗口结构。