[实用新型]一种芯片进样封装平台有效
申请号: | 201820986977.9 | 申请日: | 2018-06-26 |
公开(公告)号: | CN208767259U | 公开(公告)日: | 2019-04-19 |
发明(设计)人: | 邱晓滨;欧阳亮;洪丽川;林国林 | 申请(专利权)人: | 厦门芯极科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 361000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 内夹板 侧板 中间板 进样 本实用新型 封装平台 芯片 封装过程 螺丝固定 时间提供 清洁 载物台 透光 显微镜 取放 无光 科研 | ||
本实用新型公开了一种芯片进样封装平台,包括侧板Ⅰ、侧板Ⅱ、中间板、内夹板Ⅰ和内夹板Ⅱ;所述内夹板Ⅰ和内夹板Ⅱ固定安装在中间板两侧;所述中间板位于侧板Ⅰ和侧板Ⅱ之间,并且通过螺丝固定。本实用新型能够为芯片进样与封装过程同一时间提供透光,无光两种环境,根据结构能够为科研工作者提供4个工作面,重复使用4次,减少实验室工作者清洁载物台的时间。平台能够随时取放清洁,不影响显微镜的使用。
技术领域
本实用新型属于电子显微镜配件技术领域,尤其涉及一种芯片进样封装平台。
背景技术
透射电子显微镜使用的样品芯片在注样的过程中有底部透光和不透光两种环境需求,并且芯片放置的位置洁净程度要求较高,有些情况还需要使用导电胶固定芯片,防止芯片在注样封胶过程中发生移动,而传统显微镜的载物台容易发生污染,同一时间只能提供透光或者不透光环境,无法同时提供透光与不透光两种环境,并且污染后不易进行清洁,使用较不方便。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种芯片进样封装平台,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:芯片进样封装平台,包括侧板Ⅰ、侧板Ⅱ、中间板、内夹板Ⅰ和内夹板Ⅱ;所述内夹板Ⅰ和内夹板Ⅱ固定安装在中间板两侧;所述中间板位于侧板Ⅰ和侧板Ⅱ之间,并且通过螺丝固定。
优选的;所述侧板Ⅰ长度为20mm~50mm。
优选的;所述内夹板Ⅰ和内夹板Ⅱ由透明亚克力板制成;所述夹板Ⅰ和内夹板Ⅱ的长度为20mm~50mm,高度为20mm~50mm,宽带为2mm~20mm。
优选的;所述侧板Ⅰ、侧板Ⅱ和中间板由SUS316不锈钢制成。
与现有技术相比,本实用新型的技术方案具有以下优点: 1)能够同时提供透光与不透光两种环境;2)能够提供4个洁净的载物台;3)移动,清洁,保存方便,为科研工作者提供使用简单,效率高的注样封胶平台。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅附图1所示:芯片进样封装平台,包括侧板Ⅰ1、侧板Ⅱ2、中间板3、内夹板Ⅰ4和内夹板Ⅱ5;所述内夹板Ⅰ4和内夹板Ⅱ5固定安装在中间板3两侧;所述中间板位于侧板Ⅰ1和侧板Ⅱ2之间,并且通过螺丝6固定。
本实用新型使用SUS316材质和透明亚克力材质制作,抗腐蚀。整体尺寸约为20毫米至50毫米为边长的正方体。结构呈层叠结构,在三片不锈钢材质中间加入两片透明亚克力材质,在显微镜载物台灯光开启的情况下,平台上回形成一圈直线型的光带。
芯片在光带上,芯片既处于透光环境;芯片固定在其他位置即为不透光环境。
本实用新型能够为芯片进样与封装过程同一时间提供透光,无光两种环境,根据结构能够为科研工作者提供4个工作面,重复使用4次,减少实验室工作者清洁载物台的时间。平台能够随时取放清洁,不影响显微镜的使用。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造