[实用新型]一种具有剔除功能的硅片输送机构

权利要求书

1.一种具有剔除功能的硅片输送机构，设置在前段硅片传送线和后段硅片传送线之间，其特征在于，该硅片输送机构包括机架、设置在所述机架上的硅片输送面、设置于所述硅片输送面一侧的硅片检测组件和设置在所述后段硅片传送线下方的接料盒；所述硅片输送面的前端与所述前段硅片传送线对接，所述硅片输送面的后端包括与所述后段硅片传送线对接的第一位置以及与所述接料盒对接的第二位置；其中，

在所述机架的前端固定安装有转轴，所述硅片输送面包括前端连接在所述转轴上、可绕所述转轴转动的托板以及连接在所述托板两侧的传送带，所述传送带由电机驱动运行以运送所述硅片输送面上的硅片；

在所述托板的底部设置有气缸组件，所述气缸组件包括连接在所述机架上的缸体和可在所述缸体内做直线往复运动的活塞杆，所述活塞杆的自由端连接所述托板的底部，所述活塞杆可带动所述托板绕所述转轴转动以使所述硅片输送面的后端与所述后段硅片传送线或所述接料盒对接；

所述硅片检测组件用于检测所述硅片输送面上的硅片是否合格，当所述硅片输送面上的硅片合格时，所述硅片输送面的后端与所述后段硅片传送线对接，所述传送带将该合格硅片运送至所述后段硅片传送线上；当所述硅片输送面上的硅片不合格时，所述硅片输送面的后端与所述接料盒对接，所述传送带将该不合格硅片运送至所述接料盒内。

2.根据权利要求1所述的硅片输送机构，其特征在于，所述硅片检测组件包括CCD相机和控制器，所述CCD相机用于获取所述硅片输送面上硅片的影像信息，并将所述影像信息发送至所述控制器，所述控制器分析所述影像信息并向所述气缸组件发出控制信号。

3.根据权利要求2所述的硅片输送机构，其特征在于，所述控制器包括比对组件，用于将所述影像信息与控制器上预设的合格硅片标准信息进行对比。

4.根据权利要求1所述的硅片输送机构，其特征在于，处于所述第一位置时的硅片输送面和处于所述第二位置时的硅片输送面之间的夹角设置为12～20°。

5.根据权利要求1所述的硅片输送机构，其特征在于，在所述机架上安装有多个传送辊，所述传送带绕设在所述多个传送辊上，所述传送带由所述电机驱动绕所述多个传送辊回转以运送所述硅片传输面上的硅片。

6.根据权利要求1所述的硅片输送机构，其特征在于，所述接料盒的底部设置为坡形，其靠近所述硅片输送面的一侧高于相对的另一侧。