[实用新型]一种工艺冷却水循环系统

说明书

本实用新型涉及一种工艺冷却水循环系统，包括冷却水回水管路、冷却水供水管路以及热交换器，所述热交换器的一侧连接冷却水回水管路，另一侧连接冷却水供水管路，所述冷却水回水管路上依次安装水箱和泵，所述冷却水供水管路上安装过滤器，所述热交换器连接冷水机组，整个系统由PLC控制，其特征在于：所述冷却水供水管路与热交换器的接口处安装一温度传感器，该热交换器与冷水机组连接的回水管路上安装气动比例调节阀。本冷却水循环系统通过温度传感器、气动比例调节阀的设置，有效调节热交换器的流量，因而可精准控制冷却水供水管路的水温，提高了生产线体的工作的稳定性，该系统结构简单、易于实现、实用性强。

技术领域

本实用新型属于冷却水循环技术领域，尤其涉及一种工艺冷却水循环系统。

背景技术

工艺冷却水系统在半导体、微电子等行业中应用非常广泛，为了提高系统工程的稳定性、降低工程成本、合理优化空间以及节能等方面取得良好效益，在系统工程中如何进行合理设计尤为重要。

目前，在芯片制造企业中，冷却水系统存在如下问题：

1、冷却水的供水温度控制不够精准，直接影响生产线体的寿命及产品质量；

2、占地面积大，浪费大量宝贵的土地资源，而且成本高；

3、延展性差，在芯片制造企业中，由于市场需求，后期可能会拓展或者改造生产线体，如果再增设新的冷却系统，则成本巨大，有时受空间所限无法进行线体改造；

4、系统内管路的寿命低，主要因为介质腐蚀管道导致。

因此，急需开发一款新的工艺冷却水循环系统克服上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、延展性强、温度精准控制的工艺冷却水循环系统。

本实用新型的方案是这样实现的：

一种工艺冷却水循环系统，包括冷却水回水管路、冷却水供水管路以及热交换器，所述热交换器的一侧连接冷却水回水管路，另一侧连接冷却水供水管路，所述冷却水回水管路上依次安装水箱和泵，所述冷却水供水管路上安装过滤器，所述热交换器连接冷水机组，整个系统由PLC控制，其特征在于：所述冷却水供水管路与热交换器的接口处安装一温度传感器，该热交换器与冷水机组连接的回水管路上安装气动比例调节阀。

而且，所述冷却水回水管路上连接两条分支管路：第一供水分支管路和第二供水分支管路，所述第一供水分支管路位于冷却水回水管路侧，第二供水分支管路位于冷却水供水管路侧，且两条供水分支管路平行设置，每条分支管路上均间隔安装多个预留接口，每个预留接口处均密封安装有法兰。

而且，所述冷却水供水管路上安装加药装置。

而且，所述水箱与泵之间的冷却水回水管路上安装一Y型过滤器。

而且，所述水箱安装液位计，该液位器为磁翻板液位器。

而且，所述冷却水供水管路、第一供水分支管路、第二供水分支管路均安装在房间内的屋顶，并通过立柱支撑。

本实用新型的优点和积极效果是：

1、本冷却水循环系统通过温度传感器、气动比例调节阀的设置，有效调节热交换器的流量，因而可精准控制冷却水供水管路的水温，提高了生产线体的工作的稳定性，该系统结构简单、易于实现、实用性强。

2、本冷却水循环系统的结构设置紧凑、占用空间小、而且可延展性能强，尤其适合改建、扩建厂房的企业。

3、本冷却水循环系统通过加药装置的设置，可有效中和介质中的酸碱度，防止杂质腐蚀管路，提高了系统的使用寿命。