[实用新型]一种提升PERC电池背面转换效率的背面膜层结构有效
| 申请号： | 201820970167.4 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN208240692U | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 张鹏;常青;谢耀辉;余波;张元秋 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0216 | 分类号： | H01L31/0216;H01L31/18;H01L21/02 |
| 代理公司： | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人： | 杨俊达 |
| 地址： | 230088 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮化硅膜 制备 背面 折射率 电池背面 转换效率 本实用新型 背面膜 层结构 第三层 第一层 电池片 镀膜工艺 企业效益 氮化硅 前处理 良率 改进 优化 | ||
【权利要求书】：
1.一种提升PERC电池背面转换效率的背面膜层结构，包括电池片(1)，所述电池片(1)的背面依次沉积有氧化铝膜(2)、第一层氮化硅膜(3)、第二层氮化硅膜(4)、第三层氮化硅膜(5)以及第四层氮化硅膜(6)，其特征在于：
所述第一层氮化硅膜(3)的厚度为15±2nm、折射率为1.44±0.05；
所述第二层氮化硅膜(4)的厚度为15±2nm、折射率为1.14±0.05；
所述第三层氮化硅膜(5)的厚度为5±2nm、折射率为0.96±0.05；
所述第四层氮化硅膜(6)的厚度为60±3nm、折射率为0.9±0.05。
2.根据权利要求1所述的一种提升PERC电池背面转换效率的背面膜层结构，其特征在于：所述氧化铝膜(2)厚度为5±0.5nm、折射率为1.6±0.05。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
