[实用新型]一种晶圆支撑片

说明书

本实用新型公开了一种晶圆支撑片，置于绷框包装盒内，包括支撑主体，所述支撑主体的外周设有卡位，中心设有凸出的用于放置晶圆的支撑台。本实用新型，和绷框包装盒配合使用，用于晶圆的限位、分隔和支撑,使得晶圆在储存、运输过程中处于非接触和微移动的状态，从而对晶圆起到保护的作用，支撑台可采用吸塑成型工艺所产生的凹陷结构，如同支撑台内部被挖空的样子，使得支撑片有足够的空间方便晶圆的放置，晶圆的有效区域不会接触到支撑片，从而有效地保护晶圆不被污染、划伤、破裂，或因相互移动而造成功能失效。

技术领域

本实用新型涉及晶圆隔离保护的技术领域，具体涉及一种晶圆支撑片。

背景技术

绷框是一种专门用于保护晶圆的产品，晶圆通常是放置在绷框的中央，两边用特制的薄膜把晶圆跟绷框连接在一起。

目前市场上很少出现绷框在一个容器内得到适当保护的产品，常见的晶圆的产品为圆形薄片状，并没有相应的支撑台,因此绷框中的晶圆在包装运输过程中会出现以下问题：

(1)容易受到碰撞而发生跳动、摩擦等现象，造成晶圆被磨损、污染；

(2)严重情况下则使晶圆破裂；

(3)而且在使用过程中不易存放及拿取，给使用者造成很大的苦恼。

有鉴于此，急需对现有的晶圆运输和存储装置的结构进行改进，以方便操作，提高存储的便捷性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是现有的晶圆运输和存储装置存在不宜存储、操作不便的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是提供一种晶圆支撑片，置于绷框包装盒内，包括支撑主体，所述支撑主体的外周设有卡位，中心设有凸出的用于放置晶圆的支撑台。

在另一个优选的实施例中，所述支撑主体的外周设有凸耳，所述卡位为弧形，设置在所述凸耳的两侧根部。

在另一个优选的实施例中，所述支撑台包括锥形部和平台部，所述平台部设置在所述锥形部的中心。

在另一个优选的实施例中，绷框的内部设有薄膜，薄膜的中心设有通孔，所述支撑台置于薄膜上，且凸出面张紧薄膜。

在另一个优选的实施例中，所述凸耳为均匀排布的多个，各个所述凸耳的外周为圆弧线，且所述圆弧线在一个同心圆上。

与现有技术相比，本实用新型和绷框包装盒配合使用，用于晶圆的限位、分隔和支撑,使得晶圆在储存、运输过程中处于非接触和微移动的状态，从而对晶圆起到保护的作用，支撑台可采用吸塑成型工艺所产生的凹陷结构，如同支撑台内部被挖空的样子，使得支撑片有足够的空间方便晶圆的放置，晶圆的有效区域不会接触到支撑片，从而有效地保护晶圆不被污染、划伤、破裂，或因相互移动而造成功能失效。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型应用于绷框包装盒内的结构示意图；

图3为图2中A部的结构放大图。

具体实施方式

本实用新型提供了一种晶圆支撑片，和绷框包装盒配合使用，用于晶圆的限位、分隔和支撑,使得晶圆在储存、运输过程中处于非接触和微移动的状态，从而对晶圆起到保护的作用。支撑台可采用吸塑成型工艺所产生的凹陷结构，如同支撑台内部被挖空的样子，使得支撑片有足够的空间方便晶圆的放置。晶圆的有效区域不会接触到支撑片，从而有效地保护晶圆不被污染、划伤、破裂，或因相互移动而造成功能失效。下面结合说明书附图和具体实施方式对本实用新型做出详细说明。