[实用新型]真空干燥设备有效
| 申请号： | 201820955912.8 | 申请日： | 2018-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN208359724U | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 魏雄伟 | 申请（专利权）人： | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 林青中 |
| 地址： | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导流板 开孔区 载台 真空干燥设备 抽真空口 抽真空装置 待处理工件 真空腔室 导流孔 真空干燥过程 本实用新型 溶剂蒸汽 液面方向 真空腔 错开 成膜 挥发 连通 垂直 室内 | ||
1.一种真空干燥设备，其特征在于，包括：
真空腔室，所述真空腔室的顶部设有抽真空口；
载台，位于所述真空腔室内以用于承载待处理工件；
至少两个导流板，位于所述真空腔室内，各所述导流板依次间隔设于所述载台的上方，各所述导流板均设有相应的开孔区，各所述开孔区均设有导流孔；在所述载台至各所述导流板的方向上，任意相邻两个导流板中后一导流板的开孔区的面积小于前一导流板的开孔区的面积，相邻两个导流板上开孔区的至少部分导流孔相互错开；及
抽真空装置，与所述真空腔室的抽真空口连通，且所述抽真空口位于各所述导流板的上方。
2.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，在所述载台至各所述导流板的方向上，任意相邻两个导流板中后一导流板的导流孔的数量小于前一导流板的导流孔的数量。
3.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，在所述载台至各所述导流板的方向上，任意相邻两个导流板中后一导流板的导流孔的孔径大于前一导流板的导流孔的孔径。
4.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，在所述载台至各所述导流板的方向上，第一个导流板的开孔区用于与所述载台上的待处理工件对应设置，除第一个导流板之外，其他各导流板的开孔区在其前一个导流板上的正投影均位于前一个导流板的开孔区内。
5.如权利要求1～4任一项所述的真空干燥设备，其特征在于，与所述载台直接相邻的所述导流板上的相邻两个导流孔的间距距离为0.1cm～1cm。
6.如权利要求1～4任一项所述的真空干燥设备，其特征在于，在所述载台至各所述导流板的方向上，第一个导流板与所述载台之间的距离为0.1cm～50cm。
7.如权利要求1～4任一项所述的真空干燥设备，其特征在于，相邻两个所述导流板之间的距离为0.1cm～10cm。
8.如权利要求1～4任一项所述的真空干燥设备，其特征在于，当所述导流板为三个及三个以上时，任意相邻两个所述导流板之间的距离相等。
9.如权利要求1～4任一项所述的真空干燥设备，其特征在于，所述导流板的数量为2～150个。
10.如权利要求1～4任一项所述的真空干燥设备，其特征在于，各所述导流板在所述载台上的正投影面积大于所述载台的面积。
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