[实用新型]一种坩埚加热系统有效
申请号: | 201820950496.2 | 申请日: | 2018-06-20 |
公开(公告)号: | CN208472228U | 公开(公告)日: | 2019-02-05 |
发明(设计)人: | 张岩;马鹏翔;赵子强;陈菲菲 | 申请(专利权)人: | 中科钢研节能科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 刘依云;乔雪微 |
地址: | 100081 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坩埚 抽真空装置 坩埚盖 加热部件 本实用新型 顶部设置 加热系统 坩埚本体 抽真空 吊环 安全实用 加热装置 吊装机 放入 外周 连通 取出 | ||
本实用新型涉及长晶领域,公开了一种坩埚加热系统,该系统包括坩埚、加热部件(2)和抽真空装置(3),所述加热部件(2)设置在所述坩埚的外周,所述坩埚包括坩埚本体(11)和坩埚盖(21),所述坩埚盖(21)的顶部设置有吊环(23),所述坩埚和所述抽真空装置(3)连通,通过所述抽真空装置(3)对所述坩埚抽真空。本实用新型通过设置抽真空装置,对坩埚进行抽真空,实现坩埚本体和坩埚盖的连接,且通过在坩埚盖的顶部设置吊环,可以通过吊装机实现坩埚的取出或放入,该种方式不但操作简单,且安全实用,克服了现有技术中容易将加热装置的加热部件损坏,且操作危险的缺陷。
技术领域
本实用新型涉及长晶领域,具体地涉及一种坩埚加热系统。
背景技术
长晶(例如蓝宝石长晶、碳化硅长晶)过程需要在一定的温度下进行,需要对坩埚进行加热,且一般情况下,需要将坩埚放入加热装置中,加热装置设置在坩埚的外周。加热装置的加热体大多易碎,经不起碰撞,这就给坩埚放入过程造成一定难度。
现有技术中多采用在坩埚周围勒绳子的方式,将坩埚放入或取出。但是该种方式经常会把加热装置的加热体碰断,且这种方式不牢固,容易使得坩埚坠落,具有一定的危险性。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的在加热装置中放入或取出坩埚时存在的过程繁琐、危险的缺陷,提供一种坩埚加热系统。
为了达到上述目的,本实用新型提供了一种坩埚加热系统,该系统包括坩埚、加热部件和抽真空装置,所述加热部件设置在所述坩埚的外周,所述坩埚包括坩埚本体和坩埚盖,所述坩埚盖的顶部设置有吊环,所述坩埚和所述抽真空装置连通,通过所述抽真空装置对所述坩埚抽真空。
优选地,所述坩埚盖上设置有抽真空孔,所述抽真空装置的抽气口与所述坩埚盖上的抽真空孔连通,以对所述坩埚抽真空。
优选地,所述坩埚盖和吊环通过吊环支架连接。
优选地,吊环设置于坩埚盖的顶部中间位置。
优选地,所述坩埚盖设置有密封圈,所述密封圈用于密封坩埚本体和坩埚盖的接触面。
优选地,所述抽真空装置为真空泵。
优选地,所述加热部件为加热线圈。
优选地,所述加热部件的外周还设置有保温层。
本实用新型通过设置抽真空装置,对坩埚进行抽真空,实现坩埚本体和坩埚盖的连接,且通过在坩埚盖的顶部设置吊环,可以通过吊装机实现坩埚的取出或放入,该种方式不但操作简单,且安全实用,克服了现有技术中容易将加热装置的加热部件损坏,且操作危险的缺陷。
附图说明
附图是用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型,但并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1是本实用新型提供的一种具体实施方式的坩埚加热系统的示意图;
图2是本实用新型提供的一种具体实施方式的坩埚盖和抽真空装置的示意图;
图3是本实用新型提供的一种具体实施方式的坩埚盖的示意图。
附图标记说明
11-坩埚本体 21-坩埚盖 2-加热部件
3-抽真空装置 22-抽真空孔 23-吊环
24-吊环支架 25-密封圈 4-保温层
具体实施方式
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