[实用新型]一种化学水浴沉积用反应槽有效
| 申请号： | 201820942051.X | 申请日： | 2018-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN208562159U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 徐永一;徐梦洋;李杰;徐鑫照 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反应槽 本实用新型 凸起结构 化学水 内壁 沉积 玻璃 内壁贴合 生产故障 生产效率 吸附状态 半真空 夹爪 内夹 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学水浴沉积用反应槽，其特征在于，所述反应槽的内壁设有凸起结构。
2.如权利要求1所述的化学水浴沉积用反应槽，其特征在于，所述凸起结构包括多个凸点，每一个所述凸点间隔设置于所述反应槽的内壁。
3.如权利要求2所述的化学水浴沉积用反应槽，其特征在于，所述凸点的截面形状为半圆形、三角形、矩形、梯形或异形体。
4.如权利要求3所述的化学水浴沉积用反应槽，其特征在于，所述凸点为半球体、圆锥体、角锥体或异形体。
5.如权利要求1所述的化学水浴沉积用反应槽，其特征在于，所述凸起结构包括多个凸条，多个所述凸条间隔设置于所述反应槽的内壁。
6.如权利要求5所述的化学水浴沉积用反应槽，其特征在于，所述凸条的截面形状为半圆形、三角形、矩形、梯形或异形体。
7.如权利要求1所述的化学水浴沉积用反应槽，其特征在于，所述凸起结构包括多个环形凸条，多个所述环形凸条的尺寸不同，多个所述环形凸条间隔设置于所述反应槽的内壁。
8.如权利要求7所述的化学水浴沉积用反应槽，其特征在于，所述环形凸条包括多个凸条，所述多个凸条间隔排成环状。
9.如权利要求7所述的化学水浴沉积用反应槽，其特征在于，所述环形凸条的截面形状为半圆形、三角形、矩形、梯形或异形体。
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