[实用新型]一种扩散设备柜温水槽控制系统有效
申请号: | 201820940773.1 | 申请日: | 2018-06-19 |
公开(公告)号: | CN208649507U | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 吴文州;刘田丰;吴建新 | 申请(专利权)人: | 永嘉利为新能源有限公司 |
主分类号: | C30B31/04 | 分类号: | C30B31/04;H01L31/18 |
代理公司: | 宁波浙成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33268 | 代理人: | 王明超 |
地址: | 325102 浙江省温州市永嘉县东*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扩散恒温控制槽 自动补液系统 温度传感器 导热介质 继电器 水槽 控制系统 扩散设备 柜温 低位液位开关 高位液位开关 加热器 安全隐患 恒温控制 继电器组 循环水泵 依次连接 自动补水 维修 补水管 温控器 无人工 柜体 伸入 加热 维护 | ||
1.一种扩散设备柜温水槽控制系统,包括带扩散恒温控制槽的柜体,所述的扩散恒温控制槽内设置有导热介质,其特征在于:包括恒温子系统和自动补液系统,所述的恒温子系统由依次连接的温度传感器、与温度传感器相连接的温控器、第一继电器、用于加热导热介质的加热器组成,所述的温度传感器伸入导热介质中,由温控器触发第一继电器触点,第一继电器开关控制加热器的作业情况,从而实现导热介质的恒温控制,所述的自动补液系统包括设于恒温控制槽内的低位液位开关和高位液位开关、连接在扩散恒温控制槽补水管上的循环水泵、继电器组,当低位液位开关触发,继电器组供电循环水泵作业,进行补液;当高位液位开关触发,继电器组停止循环水泵供电,补液停止。
2.根据权利要求1所述的一种扩散设备柜温水槽控制系统,其特征在于:所述的柜体一侧设有制冷器,所述的制冷器用于水蒸气的回收冷却。
3.根据权利要求1或2所述的一种扩散设备柜温水槽控制系统,其特征在于:在柜体上还设有溢流口,所述的溢流口在位置上高于高位液位开关。
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