[实用新型]一种气相沉积装置

权利要求书

1.一种气相沉积装置，其特征在于，其包括动力机构、真空流量计、连接块、支撑架、转轴、加热炉、反应管、盖板、控制阀、泵、液压表，动力机构与真空流量计相连，动力机构、真空流量计都与连接块相连，连接块与多个支撑架相连，支撑架与反应管相连，连接块与多个转轴相连，转轴位于支撑架一侧，泵安装在反应管一端，盖板与反应管的另一端相连，盖板与控制阀相连，加热炉、液压表都安装在反应管上，加热炉位于液压表一侧，加热炉与多个转轴相连，其中：

动力机构包括轴承、齿轮、转子、涡轮，齿轮、转子、涡轮都与轴承相连，齿轮与转子相连，转子与涡轮相连。

2.如权利要求1所述的气相沉积装置，其特征在于，所述动力机构、真空流量计、加热炉上都设有显示器。

3.如权利要求2所述的气相沉积装置，其特征在于，所述加热炉上设有多个圆孔。

4.如权利要求2所述的气相沉积装置，其特征在于，所述动力机构、真空流量计上都设有底座。

5.如权利要求4所述的气相沉积装置，其特征在于，所述真空流量计上设有小孔。

6.如权利要求5所述的气相沉积装置，其特征在于，所述真空流量计通过管道与反应管相连。