[实用新型]真空室密封气动门

权利要求书

1.一种真空室密封气动门，其特征在于，所述真空室开口处周边设置有弹性密封圈，所述密封气动门包括主门、辅门以及驱动所述主门和辅门上下移动的气缸，所述辅门两端分别设有竖直的导向装置，所述主门中心设有两相对设置的第一铰接架，两所述第一铰接架之间滑动连接有铰接头，所述辅门底部设有第二铰接架，所述第二铰接架铰接于所述铰接头，所述气缸活塞杆的端部设有第三铰接架，所述第三铰接架铰接于所述铰接头，所述铰接头包括铰接板和第一铰接杆，所述铰接板内设有第一铰接孔、第二铰接孔和第三铰接孔，所述第一铰接杆固定于所述第一铰接孔内，所述第二铰接架和第三铰接架分别固定于所述第二铰接孔和第三铰接孔，所述主门靠近所述辅门的一侧端面至少设有两导向柱，所述辅门内设有与所述导向柱对应设置的导向套，所述导向套可滑动套设于所述导向柱。

2.根据权利要求1所述的真空室密封气动门，其特征在于：所述铰接板包括一体成型的竖板和横板，所述第一铰接孔和第二铰接孔设置于所述竖板内，所述第二铰接孔设置于所述第一铰接孔的正上方，所述第三铰接孔设置于所述横板内，所述第三铰接孔与所述第二铰接孔设置于同一水平高度。

3.根据权利要求1所述的真空室密封气动门，其特征在于：两相对设置的所述第一铰接架的相对端面内分别凹设有第一滑槽，所述第一铰接杆的两端分别可滑动设置于对应所述第一滑槽内。

4.根据权利要求1所述的真空室密封气动门，其特征在于：所述辅门底部中心凹设有第一凹槽，所述第二铰接架固定于所述第一凹槽的顶壁，所述第二铰接架背离所述辅门的一端凸伸有两间隔设置的第一凸台，所述第一凸台内凹设有第二销接孔，所述第二铰接孔通过第二铰接杆铰接于所述第二销接孔，所述第二铰接架两端分别向外凸伸有第二凸台，所述第二凸台内凹设有第一沉孔，所述第一沉孔内设有连接于所述辅门的第一螺栓。

5.根据权利要求1所述的真空室密封气动门，其特征在于：所述第三铰接架靠近所述气缸的一端中心凹设有螺纹孔，所述气缸的活塞杆连接于所述螺纹孔，所述第三铰接架背离所述气缸的一端凹设有第二凹槽，所述第三铰接孔通过第三铰接杆铰接于所述第二凹槽。

6.根据权利要求1所述的真空室密封气动门，其特征在于：所述导向装置为光轴，所述导向装置的两端分别设置有固定座，所述辅门四角分别凸设有第三凸台，所述导向装置滑动贯穿于对应所述第三凸台。

7.根据权利要求6所述的真空室密封气动门，其特征在于：所述导向装置与所述第三凸台之间设有直线轴承。