[实用新型]一种适用于光热反射法连续调节探测区域大小的光路系统有效
申请号: | 201820928511.3 | 申请日: | 2018-06-14 |
公开(公告)号: | CN208459260U | 公开(公告)日: | 2019-02-01 |
发明(设计)人: | 孙方远;王新伟;郭敬东;姜玉雁;唐大伟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院工程热物理研究所;中国科学院金属研究所 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透镜 连续调节 探测区域 样品表面 光斑 待测样品 光路系统 光热反射 螺旋位移 物镜 聚焦 本实用新型 测试 不均匀性 尺寸变化 焦点变动 连续控制 不均匀 大光斑 热导率 台控制 减小 测量 放大 | ||
1.一种适用于光热反射法连续调节探测区域大小的光路系统,包括试验台以及设置在所述试验台上的待测样品、第一透镜、第二透镜、物镜、螺旋位移台和45°反射镜,其特征在于,
所述待测样品、物镜、第二透镜、第一透镜、45°反射镜依次间距布置在所述试验台上,
所述待测样品、物镜、第二透镜、45°反射镜固定设置在所述试验台上,所述第一透镜固定设置在所述螺旋位移台上,所述螺旋位移台可水平滑动地设置在所述试验台上,
所述待测样品的测试表面置于所述物镜的焦点处,所述待测样品的测试表面产生的探测光通过所述物镜后水平入射至所述第二透镜,并通过所述第二透镜继续入射至所述第一透镜并由该所述第一透镜水平投射至所述45°反射镜上,所述45°反射镜将入射至其表面的上述探测光反射至一光电探测器中,所述光电探测器还用以发射抽运光,所述抽运光通过所述45°反射镜水平反射至所述第一透镜,并依次透过所述第二透镜、物镜入射至所述待测样品的测试表面上。
2.根据权利要求1所述的光路系统,其特征在于,所述光电探测器设置在所述45°反射镜的上方,其发射的所述抽运光沿竖直方向入射至所述45°反射镜上,所述45°反射镜将所述抽运光沿水平方向反射至第一透镜上。
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