[实用新型]晶圆用喷淋装置和半导体设备

权利要求书

1.一种晶圆用喷淋装置，其特征在于：包括喷淋臂和调节件，所述喷淋臂包括多个依次连通的喷淋管，相邻两个所述喷淋管中，其中一个所述喷淋管的端部伸入另一个所述喷淋管的管腔内，所述调节件能够调节所述端部的伸入长度。

2.根据权利要求1所述的晶圆用喷淋装置，其特征在于，所述调节件包括螺钉；

相邻两个所述喷淋管中，其中一个所述喷淋管设有贯穿其管壁厚度的调节孔，另一个所述喷淋管的端部间隔设有多个安装孔，设有所述安装孔的所述喷淋管的端部伸入设有所述调节孔的所述喷淋管的管腔内；

所述螺钉能穿过所述调节孔和所述安装孔将两个所述喷淋管固定，且通过调节所述螺钉在所述调节孔中的位置能调节所述端部的伸入长度。

3.根据权利要求1所述的晶圆用喷淋装置，其特征在于，所述调节件包括相适配的内螺纹和外螺纹；

相邻两个所述喷淋管中，其中一个所述喷淋管的端部的内管壁设有所述内螺纹，另一个所述喷淋管的端部的外管壁设有所述外螺纹，设有所述外螺纹的所述喷淋管的端部伸入设有所述内螺纹的所述喷淋管的管腔内；

通过调节所述内螺纹和所述外螺纹的旋合深度能调节所述端部的伸入长度。

4.根据权利要求2所述的晶圆用喷淋装置，其特征在于，所述调节孔包括长条形通孔。

5.根据权利要求4所述的晶圆用喷淋装置，其特征在于，所述喷淋臂包括相连接的竖直喷淋臂和水平喷淋臂；

所述竖直喷淋臂包括第一竖直喷淋管和第二竖直喷淋管；

所述水平喷淋臂包括第一水平喷淋管和第二水平喷淋管；

所述第二竖直喷淋管和所述第一水平喷淋管一体成型；

所述第二水平喷淋管的末端经垂直弯折后与喷嘴头连接。

6.根据权利要求5所述的晶圆用喷淋装置，其特征在于，所述第一竖直喷淋管的端部设有多个所述安装孔，多个所述安装孔沿竖直方向等间隔设置；

所述第一水平喷淋管的端部设有多个所述安装孔，多个所述安装孔沿水平方向等间隔设置。

7.根据权利要求6所述的晶圆用喷淋装置，其特征在于，所述第一竖直喷淋管包括第一竖直喷淋主管和第一竖直喷淋连接管，所述安装孔设置于所述第一竖直喷淋连接管上；

所述第一水平喷淋管包括第一水平喷淋主管和第一水平喷淋连接管，所述安装孔设置于所述第一水平喷淋连接管上。

8.根据权利要求7所述的晶圆用喷淋装置，其特征在于，所述安装孔为与所述螺钉相适配的螺纹孔。

9.根据权利要求1所述的晶圆用喷淋装置，其特征在于，所述喷淋臂包括相连接的竖直喷淋臂和水平喷淋臂；

所述竖直喷淋臂包括第一竖直喷淋管和第二竖直喷淋管，所述第二竖直喷淋管的端部的内管壁设有内螺纹，所述第一竖直喷淋管的端部的外管壁设有外螺纹；

所述水平喷淋臂包括第一水平喷淋管和第二水平喷淋管，所述第二水平喷淋管的端部的外管壁设有外螺纹，所述第一水平喷淋管的端部的内管壁设有内螺纹。

10.一种半导体处理设备，包括工艺腔室，其特征在于，还包括权利要求1-9中任意一项所述的晶圆用喷淋装置，所述晶圆用喷淋装置位于所述工艺腔室内。