[实用新型]硅片脱胶运输架及硅片脱胶运输系统

权利要求书

1.硅片脱胶运输架，其特征在于：所述运输架两侧分别设置有固定板，所述固定板的外侧面设置有凸起，所述运输架两侧的固定板之间依次连接有两根顶部固定杆、两根中部横杆、两根底部固定杆，所述顶部固定杆上包裹有螺旋护套，所述的中部横杆包裹有塑料管。

2.根据权利要求1所述的硅片脱胶运输架，其特征在于：所述螺旋护套由硬塑料制成。

3.根据权利要求1所述的硅片脱胶运输架，其特征在于：所述顶部固定杆与固定板之间的连接为螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的硅片脱胶运输架，其特征在于：所述螺旋护套两端直径相等且大于所述螺旋护套中部直径。

5.根据权利要求4所述的硅片脱胶运输架，其特征在于：所述螺旋护套的两端直径为5.5厘米-6厘米之间，所述螺旋护套的中部直径为4.5厘米-5厘米之间。

6.根据权利要求1所述的硅片脱胶运输架，其特征在于：所述螺旋护套的螺旋方向与所述顶部固定杆的夹角大于等于30度且小于等于90度。

7.根据权利要求1所述的硅片脱胶运输架，其特征在于：所述螺旋护套的螺纹深度为2毫米-4毫米之间。

8.根据权利要求1所述的硅片脱胶运输架，其特征在于：所述螺旋护套外部表面为锯齿状。

9.一种硅片脱胶运输系统，其特征在于：包括如权利要求1-8任意一项所述的硅片脱胶运输架；所述硅片脱胶运输系统还包括运输车；所述运输车包括车架，所述车架上表面设置有凹槽，且凹槽的宽度与固定板的长度相匹配，所述车架顶面设置有开孔，所述开孔通过管道与下方的砂浆盒连接，所述砂浆盒与管道之间为可拆卸设计。

10.根据权利要求9所述的硅片脱胶运输系统，其特征在于：所述砂浆盒内设置有引风机，所述引风机的开关设置于砂浆盒外表面；所述车架底面设置有车轮，所述车架侧面设置有把手。