[实用新型]激光损伤阈值测试装置

说明书

激光损伤阈值测试装置，涉及激光测试技术领域。本实用新型为了解决现有技术中激光损伤阈值自动测试平台实验器件冗余、实验占用空间过大、测试方式单一、自动化程度低的技术问题，包括一体柜、水冷系统、控制系统、调Q激光器、激光调整架、集成腔、自动位移测试平台和样品放置平台。一体柜的上表面安装激光调整架，激光调整架上设置有托板，调Q激光器固定在托板上，一体柜的内部安装有可移动挡板，可移动挡板上放置脉冲激光电源、水冷系统和控制系统，水冷系统，通过上行和下行两个水管与调Q激光器连接；集成腔与调Q激光器一体连接，自动位移测试平台与样品放置台连接，本新型缩减了实验器件冗余、减少了实验占用空间。

技术领域

本发明涉及一种激光光路中所用镜片的激光损伤阈值的测试技术，具体涉及一种激光损伤阈值测试装置。

背景技术

随着科学技术的发展，大功率高能量激光系统的应用范围不断扩大，激光系统中存在大量的薄膜元件，这些原件的抗激光损伤性能与激光系统的有效高速运行密不可分。因此，薄膜抗激光损伤性能(即激光损伤阈值)已成为衡量光学薄膜元件的重要性能指标之一。

而现有的激光损伤阈值测试的平台，需要的实验器件冗余，实验占用空间过大，且只能进行单一的单点的“1-on-1”或“S-on-1”测试。

在此背景下，我们提出的激光损伤阈值测试装置及测试方法，可实现单点或多点的“1-on-1”及“S-on-1”测试方式。在此装置中，我们提供了镜片初始测试点校准方式，简化了测试平台，加深了测试的自动化程度，并提高了测试效率。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术中激光损伤阈值自动测试平台实验器件冗余、实验占用空间过大、测试方式单一、自动化程度低的技术问题，提供一种激光损伤阈值测试装置。

激光损伤阈值测试装置，包括一体柜、脉冲激光电源、水冷系统、控制系统、激光调整架、调Q激光器、集成腔、样品放置平台和自动位移测试平台；所述一体柜的上表面安装激光调整架，所述激光调整架上设置有托板，所述调Q 激光器固定在托板上，通过激光调整架上方摇臂控制托板在z轴方向上的位置；所述一体柜的内部安装有可移动挡板，所述可移动挡板上放置脉冲激光电源、水冷系统和控制系统，所述水冷系统，通过上行和下行两个水管与调Q激光器连接；

所述集成腔位于调Q激光器前端，与调Q激光器一体连接，所述集成腔内设置衰减器、激光扩束镜、检偏片、激光聚焦镜、第一全反镜、激光准直器、第二全反镜和第三全反镜；所述集成腔的外侧固定有激光能量计；所述调Q激光器发出的激光经衰减器、激光扩束镜后入射至检偏片，经所述检偏片产生的反射光入射至激光能量计，产生的偏振光经过激光聚焦镜后入射至第一全反镜；所述激光准直器出射的激光经第二全反镜反射后入射至第三全反镜，经所述第三全反镜反射后经检偏片反射至激光聚焦镜，经激光聚焦镜聚焦后入射至第一全反镜；

所述样品放置平台固定悬挂于一体柜左侧外部，并通过摇臂调整样品放置平台的顶面平台在z轴方向的相对高度；所述自动位移测试平台通过与样品放置平台固定连接，自动位移测试平台包括自定心光学夹持器和两个步进电机，所述步进电机控制自定心光学夹持器在x轴及y轴进行水平移动。

本实用新型的有益效果：

一、本实用新型的激光损伤阈值测试装置通过集成腔，缩减了实验器件冗余、减少了实验占用空间；

二、本实用新型的激光损伤阈值测试装置通过集成腔内650nm激光准直器及其光路，提高了薄膜测试点的校准精度；

三、本实用新型的激光损伤阈值测试装置通过控制系统，优化了测试方式，可提供单点或多点的“1-on-1”及“S-on-1”测试方式；

四、本实用新型的激光损伤阈值测试装置通过自动唯一平台，加深了测试装置的自动化程度。

附图说明