[实用新型]横移载盘的高度补偿模组

权利要求书

1.一种横移载盘的高度补偿模组，其特征在于，包括托板、调节板、固定柱、底座、伺服电机以及滚珠丝杆，所述托板通过固定柱固定在调节板的上表面，所述底座固定在调节板的下表面，所述滚珠丝杆一端与伺服电机可旋转连接，所述滚珠丝杆的另一端穿过底座以及调节板，且所述滚珠丝杆上设有与调节板固定连接的卡接结构。

2.根据权利要求1所述的横移载盘的高度补偿模组，其特征在于，该高度补偿模组还包括稳定柱，所述固定柱沿调节板的四角位置固定在托板与调节板之间，所述稳定柱沿底座的四角位置固定在底座上，且所述稳定柱竖直穿过调节板。

3.根据权利要求2所述的横移载盘的高度补偿模组，其特征在于，该高度补偿模组还包括位置光电检测器以及光电支撑架，所述光电支撑架可伸缩固定在调节板与底座之间，所述位置光电检测器滑动在光电支撑架的滑槽内。

4.根据权利要求3所述的横移载盘的高度补偿模组，其特征在于，所述托板包括光滑平移板以及缓冲板，所述光滑平移板上设有多处散热孔，所述缓冲板设置在光滑平移板的边缘位置，且所述缓冲板的板面低于光滑平移板的板面。

5.根据权利要求1所述的横移载盘的高度补偿模组，其特征在于，该高度补偿模组还包括研磨机组以及分割机组，所述托板一端与研磨机组相连，所述托板的另一端与分割机组相连，且所述研磨机组的研磨平台与分割机组的分割平台处于同一水平面上。