[实用新型]一种用于触摸屏的ITO走线

说明书

本实用新型公开了一种用于触摸屏的ITO走线，包括至少一层层叠设置的铜层和氮化物层，所述氮化物层设置在铜层的上方并覆盖铜层。通过采用在铜层的上方设置氮化物层以提高ITO走线的韧性，使ITO走线在弯曲或者扭转时不易断裂。

技术领域

本实用新型涉及触摸屏技术领域，更具体地涉及一种用于触摸屏的ITO走线。

背景技术

在触摸屏行业中，采用ITO做图案，铜做走线的工艺非常普遍。实际生产中，以铜做走线的触摸传感器在贴合过程中，刮胶（刮去溢胶）的过程中，铜走线很容易受力开裂，造成不良。而且根据终端客户反馈，以铜做走线的触摸屏在装机的过程中，铜走线也很容易开裂，对组装操作造成困难，造成触摸屏报废，而且也无法返修。此外，柔性触控技术的兴起等等，传统的镀铜工艺和结构已无法满足，如何改变传统工艺或结构以提高铜的韧性需待进一步改进。

实用新型内容

为了解决所述现有技术的不足，本实用新型提供了一种韧性得以提高的用于触摸屏的ITO走线。

本实用新型所要达到的技术效果通过以下方案实现：一种用于触摸屏的ITO走线，包括至少一层层叠设置的铜层和氮化物层，所述氮化物层设置在铜层的上方并覆盖铜层。

优选地，层叠设置的铜层和氮化物层的数量分别为三层，呈交替状态设置。

优选地，所述铜层的厚度范围为500 Å -800 Å。

优选地，所述氮化物的厚度范围为500 Å -800 Å。

优选地，所述ITO走线的厚度范围为3000 Å -3500 Å。

优选地，所述氮化物层为氮化铌、氮化钛或氮化铜中的任意一种。

优选地，ITO走线由磁控溅射镀膜的方式形成。

本实用新型具有以下优点：

通过采用在铜层的上方设置氮化物层以提高ITO走线的韧性，使ITO走线在弯曲或者扭转时不易断裂。

附图说明

图1为本实用新型中一种用于触摸屏的ITO走线优选实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进行详细的说明，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。