[实用新型]排气连接管

说明书

一种排气连接管，排气连接管的一端为密封连接端，另一端为液体回收端，密封连接端的内壁上设有密封结构，液体回收端的内壁上设有液体回收面和环形凸起部，环形凸起部设于液体回收面的轴向外侧，且向排气连接管的径向内侧凸出，环形凸起部的内侧边缘朝排气连接管的轴向内侧凸出，从而液体回收面与环形凸起部配合形成液体回收区，液体回收端设有与液体回收区相连通的排液孔。该排气连接管不易泄漏，且安装方便。

技术领域

本实用新型涉及排风设备领域，特别涉及一种排气连接管。

背景技术

在半导体芯片的工艺中，特别是在湿法清洗时，为及时排走产生的酸、碱、有机气体，或者为保持工艺区良好的流场，通常需要在设备的工艺区或化学区设置排风装置。排风装置在抽走气体时，往往在管道内侧面形成冷凝液，如果管道连接处密封性不好，冷凝液会泄漏，造成安全隐患。有时，排风管道中的冷凝液会回流到工艺区，影响工艺用液的纯净度。

由于设备内部的空间限制和结构需要，需要将排风管道的排气口进行柔性连接，柔性连接部件的排气口对接处经常会出现冷凝液泄漏的问题。目前常用的柔性连接部件是可伸缩波纹管，可伸缩波纹管与法兰配合连接。

一种现有方案将柔性连接部件(例如可伸缩波纹管)与法兰套装，柔性连接部件设于外侧，在柔性连接部件外侧用卡箍进行紧固。为便于安装，柔性连接部件的内径稍大于法兰外径。采用这种连接方式，当排风装置竖直安装(法兰位于下侧)或水平安装(法兰水平放置)时，冷凝液会沿着柔性连接部件的内壁经由柔性连接部件和法兰之间的微小间隙泄漏，造成安全隐患。

另一种现有方案在柔性连接部件的末端设有端法兰，端法兰连接至安装法兰，端法兰的外径小于安装法兰的内径。进行连接时，端法兰插入安装法兰。柔性连接部件安装时形状不确定，会导致端法兰与安装法兰配合不紧密，常会造成某一侧的缝隙大，密封效果不好。且柔性连接部件的端法兰需要较大的安装空间，不利于安装。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种排气连接管，以克服现有连接件容易泄漏的缺陷。

本实用新型采用以下解决方案：

一种排气连接管，所述排气连接管的一端为密封连接端，另一端为液体回收端，所述密封连接端的内壁上设有密封结构，所述液体回收端的内壁上设有液体回收面和环形凸起部，所述环形凸起部设于所述液体回收面的轴向外侧，且向所述排气连接管的径向内侧凸出，所述环形凸起部的内侧边缘朝所述排气连接管的轴向内侧凸出，从而所述液体回收面与所述环形凸起部配合形成液体回收区，所述液体回收端设有与所述液体回收区相连通的排液孔。

优选地，所述密封结构为螺纹。

优选地，所述环形凸起部的内周面形成通气孔的孔壁，所述通气孔的直径小于所述密封连接端的内径。

优选地，所述排液孔设于所述环形凸起部，且贯穿所述环形凸起部的厚度。

优选地，所述排液孔设于所述液体回收面上且与所述环形凸起部邻接。

优选地，所述液体回收面的横截面的面积沿所述排气连接管的轴向向外的方向逐渐增大。

优选地，所述液体回收面包括相连接的圆台面和圆柱面。

优选地，还包括设于所述密封结构内的密封圈。

优选地，所述密封连接端用于连接至波纹管。

优选地，所述排液孔用于连接至排液管。

本实用新型的有益效果在于：

1、密封连接端可实现与排风管道的连接和固定，并防止冷凝液从接口处泄漏；