[实用新型]一种基于LCOS技术的可视化曝光机

权利要求书

1.一种基于LCOS技术的可视化曝光机，其特征在于，包括曝光机光源（1）、对准光源（2）、45度二向光学元件（3）、整形匀光元件（4）、PBS（5）、LCOS（6）、45度分光元件（7）、投影系统（8）、待曝光工件（9）和相机（10）；

其中，对准光源（2）经45度二向光学元件（3）反射，曝光机光源（1）发出的光透过45度二向光学元件（3），经整形匀光元件（4）的整形和匀光，p型偏振光通过PBS（5）后入射到高分辨率的LCOS（6）上，LCOS（6）反射的光为s型偏振光，经PBS（5）反射和45度分光元件（7）进入投影系统（8）再将目标曝光图形投射到待曝光工件（9），使待曝光工件（9）形成曝光；无论对准光源（2）通过光路系统是否投射对准图形或目标曝光图形时，曝光机光源（1）均可通过光路系统对待曝光工件（9）进行曝光，进而实现精准的部分视场或全视场曝光图案套刻；为缩小曝光机整体体积，所述曝光机在光路上任意位置加入一个或多个反射镜或棱镜，对光路进行折叠。

2.根据权利要求1所述的一种基于LCOS技术的可视化曝光机，其特征在于，所述曝光机光源（1）的波长范围为350~470nm。

3.根据权利要求1所述的一种基于LCOS技术的可视化曝光机，其特征在于，所述对准光源（2）的工作波长在曝光机所选定的波长之外，对准光源（2）的光通过光路系统最终入射到待曝光工件（9）表面并形成所需的对准图形或目标曝光图案，进而实现曝光精确定位。

4.根据权利要求1所述的一种基于LCOS技术的可视化曝光机，其特征在于，所述45度二向光学元件（3）包含45度二向色镜、45度合色棱镜，可将曝光机光源（1）与对准光源（2）合光耦合进入光路的元件；可采用对曝光机光源（1）的波段具有高透过率，对对准光源（2）的工作波段具有高反射率的二向光学元件，最终确保曝光机光源（1）透过45度二向光学元件（3）进入光路，对准光源（2）通过45度二向光学元件（3）反射进入光路；也可采用对曝光机光源（1）的波段具有高反射率，对对准光源（2）的工作波段具有高透过率的二向光学元件，最终确保曝光机光源（1）通过45度二向光学元件（3）反射进入光路，对准光源（2）透过45度二向光学元件（3）进入光路。

5.根据权利要求1所述的一种基于LCOS技术的可视化曝光机，其特征在于，所述整形匀光元件（4）对曝光机光源（1）发出的光进行匀光，并整形成和LCOS（6）长宽比相匹配的光，可以是积分棒，也可以是透镜阵列。

6.根据权利要求1所述的一种基于LCOS技术的可视化曝光机，其特征在于，所述PBS（5）可以是偏振分光棱镜也可以是偏振分光片，PBS（5）用于分光，对p型偏振光透过，对s型偏振光反射，s型偏振光与p型偏振光成90度角。

7.根据权利要求1所述的一种基于LCOS技术的可视化曝光机，其特征在于，所述LCOS（6）使入射p型偏振光转变成s型偏振光，通过控制LCOS（6）上每个像素的开关形成所需图形，LCOS（6）反射后的光线作为曝光图案的发生源，所述LCOS（6）具有大于等于1920 x 1080的分辨率。

8.根据权利要求1所述的一种基于LCOS技术的可视化曝光机，其特征在于，所述45度分光元件（7）对曝光机光源（1）和对准光源（2）发出的光部分透射部分反射，分光元件包含分光棱镜及分光片。

9.根据权利要求1所述的一种基于LCOS技术的可视化曝光机，其特征在于，所述投影系统（8）用于把光投影到待曝光工件（9），投影系统（8）由透镜组组成，可以是放大系统，也可以是缩小系统。

10.根据权利要求1所述的一种基于LCOS技术的可视化曝光机，其特征在于，所述待曝光工件（9）是表面一平面，和光路垂直。

11.根据权利要求1所述的一种基于LCOS技术的可视化曝光机，其特征在于，所述相机（10）用于实时观测待曝光工件待曝光工件（9），曝光机光源（1）和对准光源（2）入射到待曝光工件（9）的一部分光被待曝光工件（9）反射，经投影系统（8）后被45度分光元件（7）反射到相机（10），对待曝光工件（9）进行监测，同时为使相机（10）看清待曝光工件（9）的特征，在本光路系统任意位置耦合进不引起曝光的光源进行照明。