[实用新型]一种单晶炉水支路传感电信号故障的处理装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉水支路传感电信号故障的处理装置，包括相互独立的水流传感电路和水温传感电路；水流传感电路包括电阻R1、可调变位器R2、直流电压传感器A1和保险丝F1，水温传感电路包括电阻R3、可调变位器R4、直流电压传感器A2和保险丝F2。本实用新型结构简单新颖，电路的逻辑性强，避免了单晶炉使用过程中水支路传感电信号故障，并传之PLC电信号错误引起设备突发停机问题，保证了设备可靠运转，生产稳步运行，对设备突发故障能够紧急、快速、高效处理，避免了企业生产停机造成原材料报废的损失，降低了设备故障率，减少了突发故障对设备的损害等。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，特别是单晶硅棒生产制造时所用的单晶炉技术，更具体地说，涉及一种单晶炉水支路传感电信号故障的处理装置。

背景技术

众所周知，EKZ2700单晶炉是单晶硅拉制中的重要设备，水循环系统是单晶炉加功率高温工作时保证炉体安全的保证。EKZ2700水循环系统由不同的支路即7个支路和传感监测信号控制，任一支路水流传感故障，程序设定设备都会停止加热，余料报废且晶棒不能全尾，损失较大。各支路的水流信号必须满足传至PLC的电信号符合固化在系统软件中的对水流信号设定范围的要求，而各支路水流信号设定范围在系统软件且不可更改调节，即进回水流量正常且流量计将物理水流量转换成电信号的功能均正常，PLC才认为冷却水流量和水温均正常，此时设备才能正常加热。然而由于单晶炉用冷却水水质问题和水流量计电气不稳定因素，结合至目前为止设备使用过程中多次遇到的水流报警情况，为了避免水流量计传至PLC电信号故障，而非实际水流量不足。有鉴于此，急需设计电路防范、应急装置，予以改进。

实用新型内容

有鉴于此，为解决上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种单晶炉水支路传感电信号故障的处理装置，结构简单新颖，电路的逻辑性强，避免了单晶炉使用过程中水支路传感电信号故障，并传之PLC电信号错误引起设备突发停机问题，保证了设备可靠运转，生产稳步运行，对设备突发故障能够紧急、快速、高效处理，避免了企业生产停机造成原材料报废的损失，降低了设备故障率，减少了突发故障对设备的损害等。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：

一种单晶炉水支路传感电信号故障的处理装置，包括设在任一支路的传感器，单个所述传感器包括4个端子Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ，端子Ⅰ为电压信号正极，端子Ⅲ为电压信号负极，端子Ⅱ为水温电信号端子，端子Ⅳ为水流电信号端子，还包括相互独立的水流传感电路和水温传感电路；

所述水流传感电路包括电阻R1、可调变位器R2、直流电压传感器A1和保险丝F1，所述端子Ⅰ和端子Ⅲ之间设置串联的电阻R1、可调变位器R2，所述直流电压传感器A1与串联后的电阻R1、可调变位器R2并联，直流电压传感器A1包括正工作电源端Ⅰ、调节电源端Ⅰ、负工作电源端Ⅰ、测量输出端Ⅰ和公共接地端Ⅰ，直流电压传感器A1的调节电源端Ⅰ与可调变位器R2的调节端连接，直流电压传感器A1的测量输出端Ⅰ连接在端子Ⅳ上，所述保险丝F1的一端连接在端子Ⅰ上，保险丝F1的另一端分别与电阻R1、直流电压传感器A1的正工作电源端Ⅰ连接，直流电压传感器A1的负工作电源端Ⅰ与端子Ⅲ连接；

所述水温传感电路包括电阻R3、可调变位器R4、直流电压传感器A2和保险丝F2，所述端子Ⅰ和端子Ⅲ之间设置串联的电阻R3、可调变位器R4，所述直流电压传感器A2与串联后的电阻R3、可调变位器R4并联。

进一步的，所述直流电压传感器A1的公共接地端Ⅰ接地。

进一步的，所述直流电压传感器A2包括正工作电源端Ⅱ、调节电源端Ⅱ、负工作电源端Ⅱ、测量输出端Ⅱ和公共接地端Ⅱ，直流电压传感器A2的调节电源端Ⅱ与可调变位器R4的调节端连接，直流电压传感器A2的测量输出端Ⅱ连接在端子Ⅱ上，所述保险丝F2的一端连接在端子Ⅰ上，保险丝F2的另一端分别与电阻R3、直流电压传感器A2的正工作电源端Ⅱ连接，直流电压传感器A2的负工作电源端Ⅱ与端子Ⅲ连接，直流电压传感器A2的公共接地端Ⅱ接地。