[实用新型]半导体单晶炉热场吊装机构

说明书

本实用新型提供半导体单晶炉热场吊装机构，包括支架，支架包括底座、立柱，底座与立柱可拆卸连接；还包括三爪连杆机构，三爪连杆机构包括滑块以及三个连杆组；每个连杆组均包括第一连杆、第二连杆、第三连杆以及卡爪，第一连杆的上端与滑块铰接，第一连杆的中央与第二连杆的上端转动连接，第二连杆的下端与底座转动连接；第一连杆的下端与卡爪的中央转动连接，卡爪靠近立柱端与第三连杆的下端相连，第三连杆的上端与第二连杆的靠近第一连杆处转动连接；卡爪与第一连杆转动连接处的径向外侧为卡爪接触并支撑热场部件侧；还包括一驱动滑块沿着立柱上下运动的牵拉机构。本专利通过优化三爪连杆机构，便于实现对中空的热场部件的吊装，操作方便。

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及吊装机构。

背景技术

以前的晶体生长炉热场的安装都是靠人工，一个零件一个零件向炉内运输，费时费力，容易损坏昂贵的热场零件，效率低。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供半导体单晶炉热场吊装机构，以解决上述至少一个技术问题。

本实用新型的技术方案是：半导体单晶炉热场吊装机构，其特征在于，包括一支架，所述支架包括一底座、一立柱，所述底座与所述立柱可拆卸连接，所述立柱的上端与一吊环螺钉螺纹连接；

还包括三爪连杆机构，所述三爪连杆机构包括一滑块以及三个连杆组；

每个连杆组均包括第一连杆、第二连杆、第三连杆以及卡爪，所述第一连杆的上端与滑块铰接，所述第一连杆的中央与所述第二连杆的上端转动连接，所述第二连杆的下端与底座转动连接；

所述第一连杆的下端与所述卡爪的中央转动连接，所述卡爪靠近所述立柱端与第三连杆的下端相连，所述第三连杆的上端与所述第二连杆的靠近第一连杆处转动连接；

所述卡爪与所述第一连杆转动连接处的径向外侧的上表面覆盖有为一特氟龙制成的垫板，所述垫板的上表面为接触并支撑热场部件侧；

还包括一用于对滑块进行限位的调节螺母，所述调节螺母与所述立柱螺纹连接，所述调节螺母位于所述滑块的下方；

还包括一驱动滑块沿着所述立柱上下运动的牵拉机构，所述牵拉机构的上端部安装在所述立柱上。

本专利的创造点在于：(1)通过优化三爪连杆机构，便于实现对中空的热场部件的吊装，操作方便。(2)通过调节螺母与螺母螺纹连接，便于保证调节螺母的高度调整，实现滑块最低限位处的高度微调，实现在整个装置张开支撑热场部件时，三爪连杆机构张开度的微调。(3)通过特氟龙制成的垫板，由于特氟龙具有耐高温耐腐蚀性，保证使用寿命。

所述滑块包括从下至上依次设置的特氟龙垫圈、滑套、爪套、一导向杆座以及一螺母；

所述特氟龙垫圈通过螺钉与所述滑套可拆卸连接；

所述滑套与所述螺母螺纹连接，且所述爪套以及所述导向杆座夹设在所述滑套与所述螺母之间；

所述牵拉机构的下端安装在所述导向杆座上。

本专利通过优化滑块的结构，通过特氟龙垫圈，防止与锁紧螺母接触时的相互磨损。

通过滑套与螺母的结合，便于实现爪套与导向杆座的可拆卸安装。

所述牵拉机构还包括一导向杆，所述导向杆的下端安装在所述导向杆座上；

所述牵拉机构包括一快速夹钳，所述快速夹钳安装在所述立柱上，所述快速夹钳包括一驱动导向杆竖直运动的手柄，所述手柄与所述导向杆的上端传动连接。

便于通过手柄的操作，实现导向杆的上下运动，进而实现三爪连杆机构的张开与收拢。

所述快速夹钳包括一支架，所述手柄与所述支架铰接连接；