[实用新型]环形单晶无机非金属部件的制作设备及飞轮

权利要求书

1.一种环形单晶无机非金属部件的制作设备，其特征在于，用于制作环形单晶无机非金属部件，所述制作设备包括：制备容器、基体和基体控制组件；

所述制备容器包括微波室和等离子室，所述微波室与所述等离子室隔离，所述微波室内设置有微波发生器，所述等离子室设置有进气口和真空装置，所述真空装置用于将所述等离子室抽真空，并控制所述等离子室内的气压，从所述进气口进入所述等离子室中的原料气体能够在微波激励下形成等离子体；

所述基体设置于所述等离子室内的等离子体分布区域，所述基体控制组件用于控制所述基体旋转，以使等离子体沉积于所述基体的外圆周面形成环形单晶无机非金属部件。

2.根据权利要求1所述的制作设备，其特征在于，所述基体控制组件包括基体安装平台和基体夹持装置；

所述基体和所述基体夹持装置均设置于所述基体安装平台上；

所述基体夹持装置用于夹持所述基体在所述基体安装平台上固定和旋转。

3.根据权利要求2所述的制作设备，其特征在于，所述基体夹持装置包括支持件、转轴和驱动装置；

所述支持件设置于所述基体安装平台上，所述转轴架设在所述支持件上，并能够相对所述支持件转动，所述转轴与所述驱动装置传动连接，所述基体套设在所述转轴上；

所述驱动装置用于驱动所述转轴转动，以使所述转轴带动所述基体旋转。

4.根据权利要求1所述的制作设备，其特征在于，所述微波室包括顶盖和侧壁，所述顶盖盖合在所述侧壁上；

所述顶盖与所述侧壁通过滑动件滑动连接；

所述微波发生器设置于所述顶盖上；

所述滑动件用于调节所述顶盖与所述等离子室之间的距离。

5.根据权利要求3所述的制作设备，其特征在于，所述基体包括圆环形承载件，设置于所述圆环形承载件内的套接环，以及连接所述圆环形承载件和所述套接环的连接件，所述圆环形承载件与所述套接环同轴设置；

所述转轴与所述套接环传动连接；

所述圆环形承载件的外圆周面用于沉积等离子体而形成所述环形单晶无机非金属部件。

6.根据权利要求5所述的制作设备，其特征在于，所述圆环形承载件、所述套接环和所述连接件一体成型。

7.根据权利要求1所述的制作设备，其特征在于，所述微波室内还设置有波导管；

所述微波发生器的输出端与所述波导管的输入端连通，所述波导管的输出端朝向所述等离子室；

所述波导管用于将所述微波发生器产生的微波传输至所述等离子室。

8.根据权利要求7所述的制作设备，其特征在于，所述微波发生器、所述波导管和所述基体位于同一安装线上。

9.根据权利要求1所述的制作设备，其特征在于，所述等离子室包括隔离罩和侧边凸台，所述隔离罩盖合在所述侧边凸台上；

所述侧边凸台开设有所述进气口；

所述隔离罩用于隔离所述微波室和所述等离子室；

所述进气口用于向所述等离子室内输送保护气体和原料气体。

10.一种飞轮，其特征在于，所述飞轮为利用如权利要求1至9中任一项所述的环形单晶无机非金属部件的制作设备制作的环形单晶无机非金属部件。