[实用新型]一种多晶铸锭炉坩埚侧壁喷涂的防护工装

说明书

本实用新型涉及多晶硅铸锭生产装备技术领域内一种多晶铸锭炉坩埚侧壁喷涂的防护工装，所述坩埚侧壁喷涂时，整体侧翻90°使口部朝向喷涂操作者，坩埚的底部呈竖直状态，其特征在于，所述防护工装包括用于遮挡坩埚底壁的方形挡板和与挡板固定的挂臂，所述挡板竖直遮挡坩埚底壁，所述挂臂的一端与挡板的上侧边缘固定，所述挂臂的另一端沿坩埚的侧壁延伸至坩埚的口部边缘并向外翻折成挂钩状与坩埚口部外沿固定挂装。本实用新型的多晶铸锭炉坩埚侧壁喷涂的防护工装，在进行坩埚侧壁喷涂时，可以挡住底壁，防止喷涂液溅射到底壁上而影响坩埚内的结晶质量。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅铸锭生产装备技术领域，特别涉及一种用于多晶铸锭炉内坩埚侧壁喷涂时的防护工装，用于防止侧壁的喷涂液溅射到坩埚底壁上。

背景技术

现有的全熔多晶铸锭工艺技术主要是通过熔化坩埚底部黑硅或石英砂来形核成底部小而均匀的晶花，而烤晶时间的长短和底部喷涂的薄厚有很大的关系，所以底部喷涂一定是薄厚均匀的，而坩埚的侧壁为了防止结晶贴埚，需要涂一层均匀的氮化硅涂层。但是喷涂侧壁时，特别是在喷涂侧壁与底壁靠近的部位时氮化硅喷涂液容易溅射到底壁上，而影响坩埚底部边缘的晶花均匀性。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中坩埚侧壁喷涂时容易溅射到底壁上而影响铸锭边缘晶花问题，提供一种多晶铸锭炉坩埚侧壁喷涂的防护工装，以防止喷涂侧壁时将喷涂液溅射到坩埚底壁上。

本实用新型的目的是这样实现的：一种多晶铸锭炉坩埚侧壁喷涂的防护工装，所述坩埚侧壁喷涂时，整体侧翻90°使口部朝向喷涂操作者，坩埚的底部呈竖直状态，所述防护工装包括用于遮挡坩埚底壁的方形挡板和与挡板固定的挂臂， 所述挡板竖直遮挡坩埚底壁，所述挂臂的一端与挡板的上侧边缘固定，所述挂臂的另一端沿坩埚的侧壁延伸至坩埚的口部边缘并向外翻折成挂钩状与坩埚口部外沿固定挂装。

本实用新型的多晶铸锭炉坩埚侧壁喷涂的防护工装，进行坩埚侧壁氮化硅喷涂时，将坩埚侧翻90°使口部朝向侧向的喷涂操作者方向，便于操作者从口部将喷涂工具伸入坩埚内部，进行侧壁氮化硅的喷涂；喷涂前，将防护工装的挡板贴近呈竖直状态的底板，使坩埚的底板被挡板挡住，挂臂从挡板上侧的边缘沿上侧的坩埚侧壁伸至坩埚的口部并挂在口部的外沿，实现防护工装的安装固定，然后即可进行坩埚侧壁的喷涂，一面喷涂结束后，取出防护工装，将坩埚沿水平的中心轴方向翻转90°，再按上述方法重新安装固定防护工装，进行第二面的喷涂；重复上述过程直至四面的侧壁喷涂完成，取出防护工装。因此，采用本实用新型的防护工装，在进行坩埚侧壁喷涂时，可以挡住底壁，防止喷涂液溅射到底壁上而影响坩埚内的结晶质量。

为便于收集沿溅射到挡板上喷涂液，所述挡板与挂臂相对的底侧边缘设有接液槽，所述接液槽的长度与挡板的底侧边长相同。当挡板上溅射有喷涂液时，喷涂液将沿着挡板的竖直壁面流至底侧的接液槽中，以防止溅射液流至底侧的坩埚侧壁上。

为方便防护工装的挡板顺利装入坩埚的底壁上，所述挡板的各边长尺寸比坩埚底壁内侧边长小5—8mm 。

为方便挡板与挂臂的固定连接，所述挡板与挂臂通过螺栓螺母连接，所述挡板上设有2-4个连接孔，所述挂臂与挡板的连接端为与挂臂的长壁折弯90°的折弯端，所述折弯端上对应设有2-4个连接孔。

为减轻挡板的重量，所述挡板和接液槽为塑料板粘接而成；所述挂臂的材料为金属材料。

附图说明

图1为本实用新型的多晶铸锭炉坩埚侧壁喷涂的防护工装的结构示意图。

图2为采用本实用新型的多晶铸锭炉坩埚侧壁喷涂的防护工装进行坩埚侧壁喷涂的示意图。

具体实施方式