[实用新型]一种太阳能电池激光加工设备有效
| 申请号: | 201820840378.6 | 申请日: | 2018-05-31 |
| 公开(公告)号: | CN208225859U | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
| 发明(设计)人: | 李志刚;雷合鸿;黄海;江星 | 申请(专利权)人: | 武汉帝尔激光科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 杨立;李航 |
| 地址: | 430223 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 旋转加工 激光加工 模组 激光加工设备 太阳能电池 上料机构 下料机构 本实用新型 加工部位 加工单元 固定部 平台设置 设备集成 电池片 输出端 输入端 组设置 工作台 产能 转动 加工 | ||
1.一种太阳能电池激光加工设备,其特征在于,包括工作台(6)和至少一组设置在所述工作台(6)上的加工单元,所述加工单元包括上料机构(1)、下料机构(2)、旋转加工平台(3)和激光加工模组(4),所述上料机构(1)、激光加工模组(4)和下料机构(2)间隔围绕在所述旋转加工平台(3)四周,所述激光加工模组(4)的加工部位于所述旋转加工平台(3)上方,所述旋转加工平台(3)具有至少一个用于固定待加工电池片的固定部,所述旋转加工平台(3)可带动所述固定部转动至所述激光加工模组(4)的加工部位下方或与所述上料机构(1)的输出端和所述下料机构(2)的输入端分别连接。
2.如权利要求1所述的一种太阳能电池激光加工设备,其特征在于,还包括支撑组件(5),所述支撑组件(5)包括水平板(51)和至少一个支撑件(52),所述水平板(51)水平设置在所述工作台(6)上方,所述支撑件(52)设置在所述水平板(51)和工作台(6)之间,其上下两端分别与所述水平板(51)的下端和所述工作台(6)的上端固定连接,所述激光加工模组(4)设置在所述水平板(51)下端。
3.如权利要求2所述的一种太阳能电池激光加工设备,其特征在于,所述旋转加工平台(3)包括第一旋转机构(31)和第一转动臂(32),所述第一旋转机构(31)设置在所述工作台(6)上,其输出轴竖直向上设置,所述第一转动臂(32)为由两块相互垂直的条形板组成的十字形板体,其水平设置在所述第一旋转机构(31)上端,所述第一转动臂(32)下端的中部与所述第一旋转机构(31)的输出轴连接,所述条形板的上端的两端均设有第一吸盘(33),一个所述第一吸盘(33)构成一个所述固定部,所述第一旋转机构(31)驱动所述第一转动臂(32)水平转动,并带动所述第一吸盘(33)水平转动。
4.如权利要求3所述的一种太阳能电池激光加工设备,其特征在于,所述激光加工模组(4)包括CCD相机组件和激光加工组件,所述CCD相机组件和激光加工组件设置在所述水平板(51)下端,并间隔围绕所述旋转加工平台(3)设置,其加工部位均位于所述旋转加工平台(3)上方。
5.如权利要求4所述的一种太阳能电池激光加工设备,其特征在于,所述上料机构(1)、CCD相机组件、激光加工组件和下料机构(2)沿周向等间距间隔围绕在所述旋转加工平台(3)四周。
6.如权利要求2-5任一项所述的一种太阳能电池激光加工设备,其特征在于,所述上料机构(1)包括上料传送模组(11)和上料搬运模组(12),所述上料传送模组(11)设置在所述旋转加工平台(3)一侧,所述上料搬运模组(12)设置在所述上料传送模组(11)与所述旋转加工平台(3)之间,以将所述上料传送模组(11)上的待加工的电池片运送到所述旋转加工平台(3)的固定部上。
7.如权利要求6所述的一种太阳能电池激光加工设备,其特征在于,所述上料搬运模组(12)包括第二旋转机构(13)和第二转动臂(14),所述第二旋转机构(13)设置在所述水平板(51)的下端,其输出轴竖直向下,所述第二转动臂(14)为长条形,其水平设置在所述第二旋转机构(13)下端,所述第二转动臂(14)的上端中部与所述第二旋转机构(13)的输出轴连接,所述第二转动臂(14)下端的两端分别设有第二吸盘(15),所述第二旋转机构(13)驱动所述第二转动臂(14)转动,所述第二转动臂(14)带动两个所述第二吸盘(15)在所述上料传送模组(11)的输出端和所述旋转加工平台(3)的固定部之间转动。
8.如权利要求2-5任一项所述的一种太阳能电池激光加工设备,其特征在于,所述下料机构(2)包括下料传送模组(21)和下料搬运模组(22),所述下料传送模组(21)设置在所述旋转加工平台(3)一侧,所述下料搬运模组(22)设置在所述下料传送模组(21)与所述旋转加工平台(3)之间,以将所述旋转加工平台(3)上加工完的电池片从所述旋转加工平台(3)上运送到所述下料传送模组(21)上。
9.如权利要求8所述的一种太阳能电池激光加工设备,其特征在于,所述下料搬运模组(22)包括第三旋转机构(23)、第三转动臂(24)和两个旋转气缸(25),所述第三旋转机构(23)设置在所述水平板(51)上,其输出轴竖直向下,所述第三转动臂(24)为长条形,其水平设置在所述第三旋转机构(23)下端,所述第三转动臂(24)的上端中部与所述第三旋转机构(23)的输出轴连接,两个所述旋转气缸(25)分别设置在所述第三转动臂(24)的两端,其输出轴竖直设置并向下贯穿所述第三转动臂(24),所述旋转气缸(25)的输出轴的下端均连接有第三吸盘(26),所述旋转气缸(25)的输出轴带动对应的所述第三吸盘(26)转动,所述第三旋转机构(23)驱动所述第三转动臂(24)转动,所述第三转动臂(24)带动其下端的两个所述旋转气缸(25)及对应的第三吸盘(26)在所述旋转加工平台(3)的固定部和所述下料传送模组(21)的输入端之间转动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





