[实用新型]一种SF6/CF4混合气体放电装置

权利要求书

1.一种SF₆/CF₄混合气体放电装置，其特征在于，该SF₆/CF₄混合气体放电装置包括高压电源产生单元、SF₆/CF₄混合气体放电单元、SF₆/CF₄混合气体充气单元和气质联用检测单元；

所述的高压电源产生单元包括工频交流电源、调压器、变压器、第一电阻、整流二极管和电容；

所述的工频交流电源连接调压器，调压器连接变压器的原线圈，变压器的副线圈一端依次连接第一电阻、整流二极管正极，整流二极管负极和电容一端连接后作为高压电源产生单元的正输出端，变压器的副线圈的另外一端作为高压电源产生单元的负输出端；在高压电源产生单元的正输出端和负输出端之间设置连接有电容；

所述的SF₆/CF₄混合气体放电单元包括阻容分压器、放电腔、第一开关、第二开关和示波器；

阻容分压器分为高压端、低压端和接地端，阻容分压器的高压端通过第一开关连接高压电源产生单元的正输出端，阻容分压器的低压端连接示波器，阻容分压器的接地端接地；同时，阻容分压器的低压端和高压电源产生单元的负输出端连接；

SF₆/CF₄混合气体放电单元的放电腔中设置有正电极和负电极，正电极和负电极的垂直距离在5-20mm，并可调，正电极通过第二开关和高压电源产生单元的正输出端连接，负电极和高压电源产生单元的负输出端连接；

所述的SF₆/CF₄混合气体充气单元包括真空泵、气阀、储气罐和气瓶；

所述的真空泵一端通过第一个三通阀连接放电腔的一端，真空泵的另一端通过气阀和储气罐出气口相连，储气罐的进气口连接气瓶，气瓶设置有两个，分别为SF₆气瓶和CF₄气瓶；

所述的气质联用检测单元包括GC-MS检测单元和和GC-MS工作站；其中，GC-MS检测单元一端通过第二个三通阀和第一个三通阀连接至放电腔，GC-MS检测单元另一端连接GC-MS工作站，GC-MS工作站将GC-MS检测单元监测的数据信号进行处理，得到检测数据。

2.如权利要求1所述的SF₆/CF₄混合气体放电装置，其特征在于，所述的放电腔中，正电极采用针电极，负电极采用平板电极。

3.如权利要求1或2所述的SF₆/CF₄混合气体放电装置，其特征在于，所述的正电极的边缘和负电极的边缘均设置有8～12°的倒角。

4.如权利要求1所述的SF₆/CF₄混合气体放电装置，其特征在于，所述的真空泵通过第一个三通阀连接放电腔设置有负电极的一端。

5.如权利要求1所述的SF₆/CF₄混合气体放电装置，其特征在于，所述的SF₆/CF₄混合气体充气单元还包括：第一气压表和真空表，第一气压表和真空表设置在第一个三通阀和放电腔的一端连接的线路上。

6.如权利要求1所述的SF₆/CF₄混合气体放电装置，其特征在于，所述的GC-MS检测单元还与气体回收装置连接。

7.如权利要求1所述的SF₆/CF₄混合气体放电装置，其特征在于，所述的GC-MS检测单元为GC-MS气相质谱色谱联用仪，所述的GC-MS气相质谱色谱联用仪为气相色谱仪和质谱仪联用，具体为气相色谱仪与质谱仪的EI离子源连接，离子源与质量分析器连接，质量分析器与检测器连接，检测器与GC-MS工作站连接；其中，质谱仪为真空系统条件。